Hogyan oldja meg a fejlett anyagok 3 kritikus kihívást a félvezető kemence kialakításában

A tranzisztor méretének zsugorodására és a napelemek hatékonyságának csökkentésére irányuló verseny a termikus feldolgozó berendezéseket korlátozza. A Semicorexnél két évtizedet töltöttünk a vezető félvezető és a PV gyártókkal való együttműködésben egy visszatérő fájdalompont kezelése érdekében: Ha a szokásos anyagok szélsőséges körülmények között kudarcot vallnak, a teljes gyártási tételek veszélybe kerülhetnek.

CVD bevonatok: A páncél a folyamat alkatrészeihez

A kémiai gőzlerakódás (CVD) bevonatok, például a szilícium -karbid (SIC) és a tantalum karbid (TAC) forradalmasítják az összetevők hosszú élettartamát a kemény környezetben:

Sic bevonatElőnyök:

Ellenáll a hőmérsékleteknek 1650 ° C -ig inert légkörben

Csökkenti a részecskek szennyeződését az epitaxiális növekedési reaktorokban

Bővíti a grafit-érzők élettartamát 3-5x-rel

Tac bevonatA diffúziós akadályokban:

Megakadályozza az olvadt szilícium beszivárgását a keresztesítőben (99,999% tisztaság visszatartása)

Minimalizálja a Safer Warpage -t a gyors termikus feldolgozás során (RTP)

Amikor a hőmérséklet meghaladja az 1600 ° C -ot: A CVD bevonási előnye

Ez nem varázslatos - ez anyagtudomány. A szabadalmaztatott CVD-folyamatunk mind a SIC, mind a TAC bevonatot atomszintű pontossággal lerakja, olyan felületeket hozva létre, amelyek:

Ellenálljon a szilíciumgőz -korróziónak 3x hosszabb ideig, mint a szokásos bevonatok

Karbantartás <0,5 um vastagságváltozást tartson be a komplex geometriák között

Távolítsa el a bevonó delaminációt még termikus kerékpározás alatt

A néma válság a termikus egységességben

A kristálynövekedési kemencékben az inkonzisztens hőmérséklet -eloszlás egy 250 ezer dolláros szilícium -rúd hulladékká változtathatja. Olyan anyagi innovációk révén, mint:

Sűrűséggraduális grafit filc (0,18-0,25 g/cm³ gradiens kialakítás)

Szén-szén kompozit szigetelők <2% termikus tágulási anizotropia

... segítettünk az ügyfeleknek elérni:

✔️ ± 1,5 ° C axiális hőmérsékleti egységesség 300 mm -es czochralski rendszerekben

✔️ 40% -kal gyorsabb hűtési sebesség

Miért számít jobban a kvarc tisztaság?

Amikor egy Tier-1 MEMS öntöde követte a maratási kamra béléseik részecskebészeit, a buborékmentes olvasztott kvarc-oldatunk:

Csökkent fémszennyezés 89% -kal (ICP-MS elemzés)

Meghosszabbított megelőző karbantartási intervallumok 3 és 8 hónap között

99,999% -os kezdeti tisztaságot ért el <0,1ppb lúgos fémtartalommal

A specifikációkon túl: az alkalmazásmérnöki ügyek

Míg a műszaki műszaki adatok alapvető összehasonlításokat biztosítanak, a valós teljesítmény függ a következőktől:

• Anyag -feldolgozás kapcsolása - Hogyan kölcsönhatásba lépnek az alkatrészek az egyes vegyészekkel (például CL₂ vs. SF₆ plazmák)

• Hiba mód -könyvtárak - Az 1200+ alkatrész -hiba esetén szereplő adatbázisunk tájékoztatja az anyagválasztást

• Egyéni osztályozás - A grafit porozitás/vezetőképesség beállítása az alkatrész -keresztmetszetek között

A Semicorex kiváló minőségűTantalum karbid bevontésSzilícium karbid bevonatTestreszabott alkatrészek. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com