A feldolgozás során a félvezető lapkákat speciális kemencékben kell melegíteni. A reaktor hosszúkás, hengeres csövekből áll, amelyekben az ostyák előre meghatározott, egyenlő távolságra helyezkednek el az ostyákon. Annak érdekében, hogy túlélje a kamrán belüli feldolgozási körülményeket, és minimalizálja a hulladékot a feldolgozó berendezésből, az ostyahajókból és sok másból. az ostyafeldolgozáshoz használt egyéb eszközök olyan anyagból készülnek, mint a szilícium-karbid (SiC).
A feldolgozandó ostyatétellel megrakott csónakok hosszú konzolos lapátokon vannak elhelyezve, amelyek segítségével behelyezhetők a csőkemencékbe és reaktorokba, illetve kivehetők onnan. A lapátok tartalmaznak egy lapított hordozórészt, amelyen egy vagy több csónak helyezhető el, és egy hosszú fogantyút, amely a lapított hordozószakasz egyik végén van elhelyezve, és amellyel a lapát kezelhető.
A konzolos lapát CVD SiC vékonyrétegű újrakristályosított szilícium-karbid használatához ajánlott, amely nagy tisztaságú, és a legjobb választás a félvezető feldolgozás komponensei számára.
A Semicorex testreszabott szolgáltatást tud nyújtani a rajzok és a munkakörnyezet szerint.
A Semicorex High Purity SiC konzolos lapát nagy tisztaságú szinterezett SiC kerámiából készül, amely a félvezetőben lévő vízszintes kemence szerkezeti része. A Semicorex egy tapasztalt vállalat a félvezetőipar SiC-komponenseinek szállításában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Ceramic Paddle egy nagy tisztaságú konzolos alkatrész, amelyet félvezető magas hőmérsékletű kemencékhez terveztek, elsősorban oxidációs és diffúziós folyamatokban. A Semicorex választása olyan fejlett kerámiamegoldásokhoz való hozzáférést jelent, amelyek kivételes stabilitást, tisztaságot és tartósságot biztosítanak a kritikus lapkakezelési alkalmazásokhoz.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC lapátok nagy tisztaságú szilícium-karbid konzolos karok, amelyeket 1000 ℃ feletti magas hőmérsékletű oxidációs és diffúziós kemencékben való ostyaszállításra terveztek. A Semicorex választása kivételes anyagminőséget, precíziós tervezést és hosszú távú megbízhatóságot jelent, amelyekben a vezető félvezető gyártók megbíznak.*
Olvass továbbKérdés küldése