A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex szilícium-nitridlemezek nagy szilárdságú kerámia szubsztrátok, amelyek kivételes hőteljesítményt és mechanikai megbízhatóságot biztosítanak a fejlett energiamodulok számára. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy előnyös a precíziós gyártás, a szigorú minőség -ellenőrzés és az anyagmérnöki szakértelem, amely a következetes teljesítményt biztosítja még a legigényesebb alkalmazásokban is.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC függőleges hajó egy nagyteljesítményű ostyahordozó, amelyet függőleges kemence-folyamatokban használnak, kivételes stabilitást, tisztaságot és tartósságot kínálva. Válassza a Semicorex lehetőséget a kompromisszumok nélküli minőséghez, a precíziós gyártáshoz és a bizonyított megbízhatósághoz a félvezető termikus feldolgozásban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC csövek nagyteljesítményű szilícium-karbid kerámia alkatrészek, amelyeket félvezető kemence alkalmazásokhoz terveztek, kivételes termikus, mechanikai és kémiai stabilitást biztosítva az igényes folyamatkörnyezetekben. Válassza a Semicorex lehetőséget a precízióval megtervezett SIC csövekhez, amelyek biztosítják a következetes minőséget, a kiterjesztett élettartamot és a maximális kemence hatékonyságát.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex vízszintes kamra kemence SIC hajók nagy tisztességes szilícium-karbid-hordozók, amelyeket a biztonságos ostya tartására terveztek a magas hőmérsékletű vízszintes kemence feldolgozása során. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy a pontos tervezés, a kivételes tartósság és a kiváló termikus teljesítmény előnye a következetes, magas hozamú termelés érdekében.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szilícium karbid -szkennelő tükrök kivételes pontosságot, sebességet és stabilitást biztosítanak a legigényesebb optikai szkennelési alkalmazásokhoz. Válassza a Semicorex lehetőséget a páratlan szakértelemhez a SIC Engineering területén, testreszabott geometriákat, prémium bevonatok és bizonyított megbízhatóságot kínál a nagy teljesítményű optikai rendszerekben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC tükrök nagy teljesítményű szilícium-karbid optikai alkatrészek, amelyek szélsőséges pontosságra készülnek, például optikai szkennelési rendszerek, litográfia és űr alapú távcsövekben. Válassza a Semicorex lehetőséget a fejlett gyártási szakértelmünkhöz, testreszabható mintákhoz és kivételes felületi befejezéshez, amelyek biztosítják a páratlan stabilitást, a reflexiót és a megbízhatóságot a legigényesebb környezetben.*
Olvass továbbKérdés küldése