A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex gömb alakú timföldpor a nagy teljesítményű, szabályos gömbszerkezetű timföldpor, amely az egyik legköltséghatékonyabb hővezető por a csúcskategóriás feldolgozóiparban. Válassza a Semicorexet, válassza ki az ideális gömb alakú alumínium-oxid port.
Olvass továbbKérdés küldéseA prémium szilícium-karbid kerámiából készült Semicorex SiC hőcserélő csöveket nagy hatékonyságú hővezetésre és hőcserére tervezték. A Semicorex SiC hőcserélő csövek kiváló hővezető képességgel, magas hőmérséklet-ellenállással, korrózióállósággal és mechanikai szilárdsággal rendelkeznek a héj-csöves hőcserélő nélkülözhetetlen magelemei.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szénkerámia kompozit féktárcsák az anyagtudomány, a vegyészmérnöki és a precíziós gyártás területén a legkorszerűbb technológiákat integrálva a szénszál és a SiC kerámia optimális kombinációját jelentik. A precízen szénszál-erősítésű szilícium-karbidból (C/SiC) készült Semicorex szénkerámia kompozit féktárcsák a nagy teljesítményű fékelemek a biztonságos vezetés érdekében.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC hőcserélő csövek szilícium-karbid kerámiából készült, nagy teljesítményű cső alakú alkatrészek, amelyek a héj-csöves hőcserélők központi részeiként szolgálnak. Kihasználva a szilícium-karbid kerámiák kiváló tulajdonságait, a Semicorex SiC hőcserélő csövek kiválóan alkalmasak olyan igényes környezetekben, mint a magas hőmérséklet, a nagy nyomás, az erős kémiai korrózió, a nagy sebességű gázütés és a részecskekopás.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC kerámia golyóscsapágyak nagy teljesítményű kerámia csapágyak, kerámia golyókkal és pontosan szilícium-karbid kerámiából készült csapágypályákkal. A Semicorex SiC kerámia golyóscsapágyak ideális választást jelentenek olyan alkalmazásokhoz, amelyek nagy forgási sebességet és megbízható teljesítményt igényelnek a kihívást jelentő, magas hőmérsékletű és erősen korrozív környezetekben.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex alumínium-oxid kerámia robotkarok, más néven timföldkerámia végeffektorok, a döntő fontosságú kerámiaalkatrészek, amelyeket főként a félvezető front-end gyártásánál alkalmaznak a lapkák kezelésére, szállítására és elhelyezésére. A Semicorex alumínium-oxid kerámia robotkarok, amelyek mind megbízható teljesítményt, mind versenyképes költséget mutatnak, nagy pontosságú, szennyeződés- és sérülésmentes szeletátvitelt biztosítanak.
Olvass továbbKérdés küldése