A SiC (szilícium-karbid) zuhanyfej egy speciális alkatrész, amelyet különféle ipari folyamatokban használnak, különösen a félvezető-gyártó iparban. A technológiai gázok egyenletes és precíz elosztására és szállítására tervezték a kémiai gőzlerakódás (CVD) és az epitaxiális növekedési folyamatok során.
A zuhanyfej tárcsa vagy lemez alakú, felületén több egyenletesen elosztott lyuk vagy fúvóka található. Ezek a lyukak a technológiai gázok kimeneteiként szolgálnak, lehetővé téve azok befecskendezését a folyamatkamrába vagy a reakciókamrába. A furatok mérete, alakja és eloszlása a konkrét alkalmazási és folyamatkövetelményektől függően változhat.
A SiC zuhanyfej használatának egyik legfontosabb előnye a kiváló hővezető képessége. Ez a tulajdonság hatékony hőátadást és egyenletes hőmérsékleteloszlást tesz lehetővé a zuhanyfej felületén, megakadályozva a forró pontok kialakulását, és egyenletes folyamatkörülményeket biztosít. A megnövelt hővezető képesség lehetővé teszi a zuhanyfej gyors lehűtését a folyamat után, minimalizálva az állásidőt és növelve az általános termelékenységet.
A SiC zuhanyfejek rendkívül tartósak és ellenállnak a kopásnak, még hosszan tartó korrozív gázoknak és magas hőmérsékletnek való kitettség esetén is. Ez a hosszú élettartam megnövekedett karbantartási intervallumokban és a berendezések leállási idejének csökkenésében nyilvánul meg, ami költségmegtakarítást és jobb folyamat-megbízhatóságot eredményez.
A SiC zuhanyfejek robusztusságuk mellett kiváló gázelosztási képességeket is kínálnak. A pontosan megtervezett furatminták és konfigurációk biztosítják a gáz egyenletes áramlását és eloszlását a hordozó felületén, elősegítve a konzisztens filmlerakódást és az eszköz jobb teljesítményét. Az egyenletes gázeloszlás segít minimalizálni a filmvastagság, összetétel és egyéb kritikus paraméterek változásait, hozzájárulva a folyamatszabályozás és a hozam javulásához.
A Semicorex alacsony ellenállású szinterezett szilícium-karbid félvezető zuhanyfejet kínál. Képesek vagyunk egyedi mérnökök tervezésére és fejlett kerámia anyagok szállítására, számos egyedi képesség felhasználásával.
A fémes zuhanyfej, más néven gázelosztó lemez vagy gázzuhanyfej, a félvezetőgyártási folyamatokban széles körben használt kritikus komponens. Elsődleges feladata a gázok egyenletes elosztása a reakciókamrában, biztosítva, hogy a félvezető anyagok egyenletesen érintkezzenek a folyamattal. gázok.**
Olvass továbbKérdés küldése