A fókuszgyűrűt vagy az élgyűrűket úgy tervezték, hogy javítsák a marás egyenletességét a lapka széle vagy kerülete körül.
A Semicorex fókuszgyűrűk kémiai gőzleválasztással (CVD) bevont szilícium-karbiddal kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosítanak a konzisztens epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot biztosítanak, amelyeket úgy terveztek, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak a plazmamaratási vagy szárazmaratási folyamat során. .