A fókuszgyűrűt vagy élgyűrűket úgy tervezték, hogy javítsák a maratási egyenletességet a lapka széle vagy kerülete körül.
A Semicorex fókuszgyűrűk kémiai gőzleválasztással (CVD) bevont szilícium-karbiddal kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosítanak az egyenletes epirétegvastagság és -ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot biztosítanak. .
A félvezető-feldolgozáshoz használt Semicorex tartós fókuszgyűrűket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a félvezető-feldolgozásban használt plazmamaratási kamrák szélsőséges környezeti hatásainak. Fókuszgyűrűink nagy tisztaságú grafitból készülnek, amely sűrű, kopásálló szilícium-karbid (SiC) bevonattal van bevonva. A SiC bevonat magas korrózió- és hőálló tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel rendelkezik. A SiC-ot vékony rétegekben visszük fel a grafitra kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással, hogy javítsuk fókuszgyűrűink élettartamát.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex plazma-feldolgozó fókuszgyűrűt kifejezetten úgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezetőiparban a plazmamaratási feldolgozás magas követelményeinek. Speciális, nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonatú alkatrészeink úgy készültek, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak, és különféle alkalmazásokban használhatók, beleértve a szilícium-karbid rétegeket és az epitaxiás félvezetőket.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex fejlett, nagy tisztaságú SiC fókuszgyűrűit úgy építették meg, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak a plazmamarás (vagy szárazmarás) kamrákban. A félvezető iparágakra összpontosítunk, például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése