A kamrafedelek tiszta, közömbös és védett környezetet teremtenek a leválasztókamrákban, így ki vannak téve a plazmának és a magas hőmérsékletnek a leválasztási vagy maratási folyamatok során. A Semicorex kamrafedelek szilícium-karbiddal bevont, kémiai gőzleválasztásos (CVD) módszerrel készült tartós kerámia alkatrészek, amelyek kiválóan ellenállnak ezeknek a kihívásokkal teli környezeteknek.
A Semicorex SIC fedél egy nagy tisztességes szilícium-karbid alkatrész, amelyet extrém félvezető feldolgozási környezetre terveztek. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy a páratlan anyagminőség, a precíziós tervezés és az egyedi megoldások biztosítják a vezető félvezető gyártók világszerte.*
Olvass továbbKérdés küldése