A kamrafedelek tiszta, közömbös és védett környezetet teremtenek a leválasztókamrákban, így ki vannak téve a plazmának és a magas hőmérsékletnek a leválasztási vagy maratási folyamatok során. A Semicorex kamrafedelek szilícium-karbiddal bevont, kémiai gőzleválasztásos (CVD) módszerrel készült tartós kerámia alkatrészek, amelyek kiválóan ellenállnak ezeknek a kihívásokkal teli környezeteknek.