A gázbevezető gyűrűket az ostya szélének és kerületének lefedésére használják, védik a kamra kritikus elemeit, hogy tiszta, inert és védett környezetet teremtsenek, és meghosszabbítják hasznos élettartamukat a leválasztókamrákban, így a leválasztás vagy az ostya feldolgozása során plazmának és magas hőmérsékletnek vannak kitéve. , ezért az erős plazmatartósság és a nagy tisztaság kritikus jelentőségű a végső lapkahozam szempontjából.
Semicorex CVD SiC bevonatú gyűrűk, amelyeket kifejezetten ezekhez az igényes epitaxiás berendezésekhez terveztek.