Palacsinta szuszceptor, kerek alakú ostyahordozó, amelyet félvezető feldolgozásban használnak.
Az epitaxia a félvezető feldolgozás döntő lépése, amely az epitaxiális réteget a félvezető lapkákon növeszti, amelyben a lapkákat a grafit szuszceptorokon hordozzák. A grafit szuszceptorok tulajdonságai kulcsfontosságúak az epi-ostyák minőségében.
Grafit szuszceptorok szilícium-karbid bevonattal
A Semicorex szuszceptorokat és alkatrészeket szállít minden epitaxiás reaktorhoz, beleértvehordó szuszceptorokés palacsinta-szuceptorok. Nagy tisztaságú grafit és CVD SiC bevonatot használunk.