A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 °C |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
¥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex porózus grafit TaC bevonattal egy speciális anyag, amelyet a szilícium-karbid (SiC) kristályok növekedésének kritikus kihívásaira terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatú porózus grafit a legújabb innováció a szilícium-karbid (SiC) kristálynövekedési technológiában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú szuszceptor (tantál-karbid bevonatú szuszceptor) egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet a félvezetőgyártásban és más magas hőmérsékletű alkalmazásokban használnak. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatoló tokmány egy precíziós tervezésű alkatrész, amelyet magas hőmérsékletű és nagy igénybevételnek kitett környezetben való használatra terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD TaC bevonatgyűrű egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet olyan igényes alkalmazásokhoz terveztek, amelyek kivételes kopásállóságot, hőstabilitást és kémiai inertséget igényelnek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC zuhanyfej az epitaxiális növekedési folyamat alapvető összetevője, kifejezetten a félvezető lapkákon történő vékonyréteg-lerakódás egyenletességének és hatékonyságának fokozására tervezték. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése