A SiC bevonat egy vékony réteg a szuszceptorra a kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás révén. A szilícium-karbid anyag számos előnnyel rendelkezik a szilíciummal szemben, beleértve a 10-szeres áttörési elektromos térerőt, a 3-szoros sávközt, amely magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, valamint hővezető képességet biztosít az anyagnak.
A Semicorex személyre szabott szolgáltatást nyújt, segít az innovációban hosszabb élettartamú alkatrészekkel, csökkenti a ciklusidőket és javítja a hozamot.
A SiC bevonat számos egyedi előnnyel rendelkezik
Magas hőmérsékleti ellenállás: A CVD SiC bevonatú szuszceptor akár 1600 °C-ig is ellenáll a magas hőmérsékletnek anélkül, hogy jelentős hődegradáción menne keresztül.
Vegyi ellenállás: A szilícium-karbid bevonat kiváló ellenállást biztosít számos vegyszerrel szemben, beleértve a savakat, lúgokat és szerves oldószereket.
Kopásállóság: A SiC bevonat kiváló kopásállóságot biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy kopással járó alkalmazásokhoz.
Hővezetőképesség: A CVD SiC bevonat magas hővezető képességgel rendelkezik, így alkalmas magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz, amelyek hatékony hőátadást igényelnek.
Nagy szilárdság és merevség: A szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagy szilárdságot és merevséget biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy mechanikai szilárdságot igénylő alkalmazásokhoz.
A SiC bevonatot különféle alkalmazásokban használják
LED gyártás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort különféle LED-típusok, köztük kék és zöld LED, UV LED és mély-UV LED gyártásánál használják, magas hővezető képessége és vegyszerállósága miatt.
Mobil kommunikáció: A CVD SiC bevonatú szuszceptor a HEMT kulcsfontosságú része a GaN-on-SiC epitaxiális folyamat befejezéséhez.
Félvezető feldolgozás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort a félvezetőiparban használják különféle alkalmazásokhoz, beleértve az ostyafeldolgozást és az epitaxiális növekedést.
SiC bevonatú grafit alkatrészek
Szilícium-karbid bevonat (SiC) grafitból készült, a bevonatot CVD-módszerrel hordják fel bizonyos típusú nagy sűrűségű grafitokra, így a magas hőmérsékletű kemencében 3000 °C feletti hőmérsékleten inert atmoszférában, 2200 °C-on vákuumban működik. .
Az anyag különleges tulajdonságai és kis tömege gyors felfűtést, egyenletes hőmérséklet-eloszlást és kiemelkedő vezérlési pontosságot tesz lehetővé.
A Semicorex SiC bevonat anyagadatai
Tipikus tulajdonságok |
Egységek |
Értékek |
Szerkezet |
|
FCC β fázis |
Irányultság |
Töredék (%) |
111 előnyben |
Testsűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Hőkapacitás |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Hőtágulás 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pt kanyar, 1300º) |
430 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Hővezető |
(W/mK) |
300 |
Következtetés A CVD SiC bevonatú szuszceptor egy kompozit anyag, amely egyesíti a szuszceptor és a szilícium-karbid tulajdonságait. Ez az anyag egyedülálló tulajdonságokkal rendelkezik, beleértve a magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, magas hővezető képességet, valamint nagy szilárdságot és merevséget. Ezek a tulajdonságok vonzó anyaggá teszik különféle magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz, beleértve a félvezető-feldolgozást, vegyi feldolgozást, hőkezelést, napelemgyártást és LED-gyártást.
A Semicorex szilícium-karbid csónaktartó egy speciális SiC anyagból készült termék, amelyet aprólékosan olyan iparágakban való alkalmazásokhoz terveztek, mint a fotovoltaik, az elektronika és a félvezetők. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex Solar Graphite Boat, egy precíziós tervezésű ostyatartó, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a magas hőmérsékletű félvezető-feldolgozás szigorú követelményeinek. A prémium minőségű grafitból készült, innovatív csónak páratlan termikus stabilitást és tartósságot kínál, optimális teljesítményt biztosítva még a legigényesebb kemencekörnyezetben is. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Support Crucible kulcsfontosságú eleme a szoláris szilíciumkristály-növekedés bonyolult folyamatának, szilárd alapként szolgálva a nyersanyagok kiváló minőségű, fotovoltaikus alkalmazásokra szánt szilícium tuskóvá történő átalakításához. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA SiC bevonatú Semicorex hordószuszceptor egy élvonalbeli megoldás a szilícium epitaxiális folyamatok hatékonyságának és pontosságának növelésére. A részletekre való aprólékos odafigyeléssel készült, ez a SiC bevonatú hordó szuszceptor a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek megfelelően lett kialakítva, optimális ostyatartóként szolgál, és megkönnyíti a hő zökkenőmentes átadását az ostyákba. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC hordó a Silicon Epitaxy számára egy olyan konstrukció, amely megfelel az alkalmazott anyagok és LPE egységek szigorú követelményeinek. A precízen és innovációval kialakított hordó alakú szuszceptor kiváló minőségű SiC bevonatú grafitból készül, amely kivételes teljesítményt és tartósságot biztosít a szilícium epitaxiás alkalmazásokban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA SiC bevonatú Semicorex Graphite Susceptor alapvető összetevője az alkalmazott anyagokban és az LPE (Liquid Phase Epitaxy) egységek szilícium epitaxiás folyamatainak. A kiváló minőségű, szilícium-karbiddal (SiC) bevont grafitanyagból készült szuszceptor kiváló teljesítményt és hosszú élettartamot biztosít a félvezetőgyártási környezetben. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése