Professzionális gyártóként félvezető alkatrészeket szeretnénk kínálni Önnek. A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC bevonatú alkatrészek döntő fontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk a kristálytermesztési forró zónákhoz való grafit fogyóeszközöktől (fűtőtestek, tégelyszuszceptorok, szigetelések) az ostyafeldolgozó berendezések nagy pontosságú grafitelemeiig terjed, mint például az Epitaxy vagy a MOCVD szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorai.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-leválasztási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) bevonatú grafit konstrukciója kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
End Effector →
Végeffektor a robot keze, amely a félvezető lapkákat mozgatja a lapkafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorex egykristályos szilícium elektródák elektródaként és maratási gázútként is szolgálnak az ostyamaratási folyamat során. A Semicorex egykristályos szilícium elektródák nélkülözhetetlen szilícium alkatrészek, amelyeket kifejezetten a csúcsminőségű félvezető maratáshoz fejlesztettek ki, és amelyek segíthetnek javítani a maratás pontosságát és egyenletességét.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex konzolos lapátok precíziós tervezésű alkatrészek, amelyeket magas hőmérsékletű és nagy tisztaságú félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek. A Semicorex kiváló minőségű konzolos lapátokat kínál, amelyek megfelelnek a fejlett lapkakezelési és hőkezelési rendszerek szigorú követelményeinek.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szilícium maratógyűrűk nagy tisztaságú egykristályos szilíciumból készült precíziós gyűrű alakú marató alkatrészek. Ezek a plazmamarató berendezésben használt alapvető szilícium alkatrészek, amelyeket kifejezetten az optimális plazmamaratási feltételek megteremtésére terveztek. Válassza a Semicorexet, válassza a kiváló minőségű szilikon maratógyűrűket.
Olvass továbbKérdés küldéseAz LPCVD-hez készült Semicorex kemencecsövek precíziós gyártású cső alakú alkatrészek, egyenletes és sűrű CVD SiC bevonattal. A speciálisan a fejlett alacsony nyomású kémiai gőzleválasztási eljáráshoz tervezett Semicorex kemencecsövek az LPCVD-hez megfelelő magas hőmérsékletű, alacsony nyomású reakciókörnyezetet biztosítanak az ostya vékonyréteg-leválasztás minőségének és hozamának javítása érdekében.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD SiC bevonatú kemencecsövek csúcskategóriás csőszerű alkatrészek, amelyeket kifejezetten magas hőmérsékletű félvezető-feldolgozáshoz, például félvezető lapkák oxidációjához, diffúziójához és izzításához gyártanak. A fejlett feldolgozási technológiákat és a kiforrott gyártási tapasztalatokat kihasználva a Semicorex elkötelezett amellett, hogy a precíziós megmunkálású CVD SiC bevonatú kemencecsöveket piacvezető minőségben szállítsa tisztelt ügyfelei számára.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Process Tubes nagy tisztaságú SiC kerámiából készül, CVD SiC bevonattal, alkalmas a Semiconductor vízszintes kemencébe. Tekintettel a termékminőségre és az értékesítés utáni szolgáltatásokra, a Semicorex az, aki magas színvonalú üzletet szeretne folytatni világszerte ügyfeleinkkel.*
Olvass továbbKérdés küldése