Professzionális gyártóként félvezető alkatrészeket szeretnénk kínálni Önnek. A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC bevonatú alkatrészek döntő fontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk a kristálytermesztési forró zónákhoz való grafit fogyóeszközöktől (fűtőtestek, tégelyszuszceptorok, szigetelések) az ostyafeldolgozó berendezések nagy pontosságú grafitelemeiig terjed, mint például az Epitaxy vagy a MOCVD szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorai.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-leválasztási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) bevonatú grafit konstrukciója kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
End Effector →
Végeffektor a robot keze, amely a félvezető lapkákat mozgatja a lapkafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorex ostya széle csiszoló Chuck egy nagy tisztaságú, fehér alumínium-oxidból készült kerámia lemez, amelyet a félvezető gyártásában a ostya szélének őrlésére terveztek. A Semicorex kiválasztása biztosítja a kiváló anyagminőséget, a precíziós tervezést és a megbízható teljesítményt, amely támogatja a legigényesebb ostyafeldolgozási környezetet.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex porózus alumínium -oxid -i chucks mikropórusos fekete alumínium -oxid vákuum -szerelvény, 35–40% -os porozitással, amelynek célja az egységes szívás és a biztonságos ostyakezelés biztosítása a félvezető gyártásában. A SEMICOREX kiválasztása megbízható kerámiamérnöki, kiváló anyagminőséget és következetes teljesítményt jelent, amelyek megóvják a hozamot és a feldolgozási stabilitást.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex AL2O3 vákuumcsomók olyan mikropórusos kerámia adszorpciós szerelvények, amelyek fekete alumínium -oxidból készülnek, 35–40%porozitással, amelyet kifejezetten a ostyakezeléshez terveztek félvezető alkalmazásokban. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy a fejlett kerámia technológiából, a precíziós tervezésből és a megbízható termékminőségben részesüljenek, amelyek biztosítják a stabil teljesítményt az igényes tiszta helyiségben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex alumínium-oxid kerámia karja egy nagy tisztességes robotkomponens, amelyet a félvezető gyártásában pontos és szennyeződésmentes ostya kezelésére terveztek. A Semicorex kiválasztása nemcsak a fejlett alumínium -oxid kerámia anyag minőségét, hanem a precíziós kivitelezést is biztosítja, amely garantálja a tartósságot, a tisztaságot és a megbízhatóságot a kritikus folyamatkörnyezetekben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC bemeneti gyűrűk nagy teljesítményű szilícium-karbid alkatrészek, amelyeket félvezető feldolgozó berendezésekre terveztek, kivételes hőstabilitást, kémiai ellenállást és precíziós megmunkálást kínálva. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy hozzáférést kapnak a megbízható, testreszabott és szennyeződésmentes megoldásokhoz, amelyeket a vezető félvezető gyártók megbíznak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC kar egy nagy tisztességes szilícium-karbid alkatrész, amelyet a ostobaság pontos kezelésére és elhelyezésére terveztek a félvezető gyártásában. A Semicorex kiválasztása páratlan anyagi megbízhatóságot, kémiai ellenállást és precíziós tervezést biztosít, amelyek támogatják a legigényesebb félvezető folyamatokat.*
Olvass továbbKérdés küldése