Az alumínium -oxid anyag bemutatása

Alumínium -oxid kerámiaAz alkatrészek kiváló tulajdonságokkal rendelkeznek, mint például a nagy keménység, a nagy mechanikai szilárdság, a szuper kopás ellenállás, a magas hőmérséklet -ellenállás, a nagy ellenállás és a jó elektromos szigetelési teljesítmény. Megfelelhetik a félvezető gyártás komplex teljesítménykövetelményeinek speciális környezetben, például vákuumban és magas hőmérsékleten. Pótolhatatlan és fontos szerepet játszanak a félvezető gyártási vezetékekben. Alkalmazásaik szinte az összes félvezető gyártó berendezést lefedik, és a félvezető gyártó berendezések kulcseleme. A félvezető ipar folyamatos fejlődésével az alumínium -oxid kerámia alkatrészek fontossága az ipari láncban egyre kiemelkedőbb lesz.

Ahogy a chip funkció méretének csökkenése csökken, a félvezető berendezések szigorúbb követelményekkel rendelkeznek az alkatrészekre, és sűrűsége, egységessége, korrózióállóság stb. Az utóbbi években a hazai és a külföldi tudósok számos új eljárást fejlesztettek ki az alumínium-oxid kerámia anyagok szinterelési körülményeinek javítása érdekében, hogy az anyagok gyors sűrűsítését elérjék alacsonyabb szinterelési hőmérsékleten, például önterjedő magas hőmérsékletű szinteredést, flash-szinteredést, hideg-szinterációt és oszcilláló nyomást. Közülük a hideg szinterelés egy átmeneti oldószer hozzáadása a porhoz, és nagy nyomást (350 ~ 500mPa) alkalmazni a részecskék közötti átrendeződés és diffúzió fokozása érdekében, hogy a kerámia por alacsonyabb hőmérsékleten (120 ~ 300 ℃) és rövidebb idővel sűrűsíthető legyen.

Jelenleg a globális integrált áramköri gyártási folyamat fejlettebb folyamatra fejlődött 3-nanométeres szinten. A félvezető berendezéseket és a félvezető berendezéseket folyamatosan fejleszteni és továbbfejleszteni kell, és a folyamatok fejlesztését kell elvégezni a downstream gyártási igények kielégítése érdekében. Miután a félvezető berendezéseket frissítették, az alkatrészek új berendezéseinek konkrét követelményei szinkronban megváltoznak. A félvezető technológia fejlesztésével az alumínium -oxid kerámia alkatrészekre vonatkozó teljesítménykövetelmények egyre magasabbak, beleértve a nagyobb kopásállóságot, a magas hőmérséklet -ellenállást és a jobb elektromos szigetelést. Az iparági tendenciák általában magasabb tisztaságú, finomabb szerkezetű alumínium -oxid -anyagokat fejlesztenek ki, és fejlett előkészítő technológiákat alkalmaznak.

Alumínium -oxid -kerámiaNagyon magas tisztasági követelményekkel rendelkezik, ha a félvezető mezőben használják, általában nagyobb, mint 99,5%. A félvezető mezőben az alumínium -oxid kerámia alkatrészek a félvezető berendezések egyik legfontosabb része. Legtöbbet az ostya közelében lévő kamrákban használják. A félvezető berendezésekben felhasználás szerint osztályozzák őket, és elsősorban gyűrűs hengerekre, légáram-vezetőkre, rögzített rakományt hordozó, kézzel ragasztott tömítésekre, modulokra stb.

A maratási folyamatban a ostya szennyeződésének csökkentése érdekében a plazma maratás során a nagy tisztaságú alumínium-oxid bevonatok vagy az erős korrózióállóságú alumínium-oxid-kerámia kerámiák vannak kiválasztva a maratási kamra és a kamra bélése védőanyagokként.

A plazmakisztítási eljárás során korrozív gázokat, amelyek erősen reaktív halogén elemeket, például fluorot és klórot tartalmaznak. A gázfúvókát általában alumínium-oxid-kerámiákból készítik, amelyekhez magas plazmakezelőség, dielektromos szilárdság és erőteljes korrózióállóság szükséges a feldolgozó gázokhoz és melléktermékekhez. Ugyanakkor a belső precíziós lyuk szerkezetét használják a gázáram pontos szabályozására.

A félvezető gyártási eljárás során az ostya magas hőmérsékleten kezelhető, például maratás, ionimplantáció stb., Mint a ostya átvitelének hordozója, az alumínium-oxid-hordozó biztosítja az ostya stabilitását és biztonságát az átviteli folyamat során. Az alumínium -oxid -os ostyahordozó jó hővezetőképességgel rendelkezik, és hatékonyan eloszlathatja és exportálhatja az ostya által generált hőt, ezáltal megvédve az ostyát a termikus károsodástól.

Az ostyák kezelése során alumínium -oxid -kerámiából készült kerámia robotkarot fognak használni. Ezt egy ostyakezelő robotra telepítik, amely megegyezik a robot kezével. Felelős az ostya hordozásáért a kijelölt helyre, és felülete közvetlen érintkezésben van az ostyával. Mivel az ostyák rendkívül hajlamosak más részecskék szennyeződésére, általában vákuumkörnyezetben végzik őket. Ebben a környezetben a legtöbb anyag robotkarainak általában nehéz a munka befejezése. A robotkarokhoz használt anyagoknak ellenállniuk kell a magas hőmérsékletnek, kopásálló és nagy keménységűnek. A munkakörülmények követelményei miatt általában rendkívül nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia anyagokból készülnek, és garantálni kell a kerámia alkatrészek pontosságát és felületi érdességét.

A Semicorex kiváló minőségűAlumínium -oxid kerámia alkatrészekfélvezetőben, beleértve a SIC bevonatot és a TAC bevonatot. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com