Vezetőképes bevont grafitfűtés

Avezetőképes bevont grafitfűtésegy új termék, amelyet magas hőmérsékletű félvezető feldolgozáshoz és más vákuum -termálrendszerekhez terveztek. A nagy tisztaságú grafit jó hőstabilitását és a szilícium -karbid (SIC) bevonat kiváló felületi jellemzőit használja. A vezetőképes bevonatú grafitfűtést tovább differenciálják a nitrogén-adalékolt SIC rétege, amely jelentősen javította a felületi vezetőképességet, így különösen jól illeszkedik azokhoz az alkalmazásokhoz, amelyeknek ellenőrzött és akár melegítést igényelnek, nagy elektromos teljesítmény mellett.

A fűtőberendezés nagy szilárdságú grafit szubsztráttal készül, amely magszerkezeti és hővezetőként működik. A grafitot választottuk, különös tekintettel a magas hővezetőképességre, az alacsony hőtágulási együtthatóra és a termikus sokkhoz való ellenálló képességre. Ezek a jellemzők miatt a grafit megfelelő alapanyagot tesz a magas hőmérsékleti folyamatban, ahol gyors fűtési és hűtési ciklusok lehetnek. Az érintetlen grafit azonban bizonyos atmoszférákban kémiailag reakcióképes, és felületi károsodást vagy lebomlást, részecske -kibocsátást vagy átvitelt tapasztalhat meghosszabbított használat során, különösen a félvezető tisztítószoba környezetében.

E korlátozások leküzdése érdekében a grafitrészt vastag, nagy tisztaságú SIC réteggel borítják. A SIC bevonat több funkciót kínál: biztosítja az oxidáció és a kémiai korrózió elleni védelmet, nagyon kemény, kopásálló felületet biztosít, és biztosítja a kompatibilitást a vákuum és a tiszta szoba szabványaival. A SIC hírneve a szélsőséges keménység, a nagy hővezető képesség és a kémiai tehetetlenség miatt; Ezért kiváló bevonóanyag a nagy teljesítményű termikus alkatrészekhez.

Ennek a terméknek az egyedülálló innovációja a SIC bevonat nitrogén -doppingja. A kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás során a nitrogénatomok beágyazódnak a SIC rácsba, és szabad hordozókat termelnek, amelyek drasztikusan csökkenthetik a felületi ellenállást, és ezért vezetőképes felületréteget hoznak létre, és lehetővé teszik az áram közvetlen átadását, ahelyett, hogy egy hozzáférési pontot használnának, a SIC bevonaton keresztül, így lehetővé teszik a teljes grafitkomponens ellen, hogy ellenálló melegítő elemként működjenek.

KlasszikusSic bevonatokszigetelőek, amelyek valóban korlátozzák őket az aktív elektromos alkalmazások körében. Ezzel szemben a fűtőberendezés nitrogén-adalékolt SIC rétege rendkívül alacsony felületi ellenállással rendelkezik, miközben megőrzi a klasszikus SIC összes mechanikai és kémiai előnyeit. A vezetőképes réteg nagyon jó áramkimaradást biztosít és minimalizálja az energiavesztést, miközben javítja a fűtőkészülék termikus eloszlását. Különösen ideális a precíziós fűtési alkalmazásokhoz az epitaxiális reaktorokkal, diffúziós kemencékkel és a gyors termikus feldolgozó (RTP) berendezésekkel gyakran társított körülmények között.

A fűtés geometriáját, jellemzően spirál vagy szerpentin, amint azt a képen látják, úgy tervezték és optimalizálják, hogy egyenletes termikus kimeneti energiát és egyenletes elektromos terhelést termeljenek. A grafit és a vezetőképes SIC bevonat integrált kialakításával az elektromos érintkezőket közvetlenül a bevont felületre lehet készíteni, amely kiküszöböli a további elektródák vagy fémcsatlakozás szükségességét. Ez csökkenti a szennyeződés kockázatát, és egyszerűbb összeszerelést eredményez. Következésképpen az általános hatékonyság javul.

A vezetőképesség legfontosabb előnyeiSIC-bevonatú grafitfűtésTartalmazza:

Kiváló elektromos vezetőképesség a nitrogén -dopping miatt, lehetővé téve az egyenáram áramlását és a hatékony ellenálló fűtést.

Kiváló termikus egységesség, pontos hőmérséklet -szabályozással a teljes felület felett.

Magas kémiai ellenállás, különösen korrozív környezetben, például hidrogén, ammónia vagy halogénben gazdag atmoszférában.

Minimálisan a részecskék előállítása, megfelelnek a félvezető gyártás szigorú tisztasági követelményeinek.

Bővített szolgálati élettartam, mind a grafitmag, mind a SIC bevonat mechanikai tartóssága és hőkanélkülisége miatt.

A fűtőkészülékre vonatkozó alkalmazások számos fejlett technológiai iparágra kiterjednek. A fűtőberendezés helyet fog találni a félvezető gyártási folyamatokban, például a kémiai gőzlerakódásban (CVD), a molekuláris sugár epitaxiában (MBE) és az ostya lágyításában, ahol a pontos hőmérséklet -szabályozás és az anyagok tisztasága kritikus. A SIC-bevonatú grafitfűtés fotovoltaikus előállításhoz, fejlett kerámia szintereléséhez és más termikus folyamatokban is felhasználható, ahol nagyobb teljesítmény, tartósság és robusztus fűtőberendezésekre van szükség.

Összefoglalva: a vezetőképes SIC-bevonatú grafitfűtés lenyűgöző előrelépés a termikus komponensek fejlesztésében. Nitrogén-adalékolt SIC bevonat használatával kifejlesztettünk egy hatékony hőterméket, amely sikeresen ötvözi a SIC bevonat kémiai stabilitását az elektromos vezetőképességgel. Így a hatékonyabb, tisztább és megbízhatóbb termikus folyamat előállítása a legigényesebb ipari alkalmazásokhoz. A félvezető és az anyagipar folyamatos változásokkal szembesül, és az ilyen hibrid anyagok egyre fontosabbá válnak a jövőbeli fejlettebb technológiák előállításában a gyártáshoz.

A Semicorex kiváló minőségűGrafitfűtés bevonattaltermékek. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com