Főbb kerámia alkatrészek a félvezető gyártásában

A félvezető berendezések kamrákból és kamrákból állnak, és a legtöbb kerámiát az ostyákhoz közelebbi kamrákban használják. A kerámia alkatrészek, az alapvető berendezések üregeiben széles körben használt fontos alkatrészek, a félvezető berendezések alkatrészei, amelyeket precíziós feldolgozás útján gyártanak fejlett kerámia anyagok, például alumínium -oxid kerámia, alumínium -nitrid -kerámia és szilícium -karbid kerámia felhasználásával. A fejlett kerámia anyagok kiváló teljesítményt nyújtanak az erősség, a pontosság, az elektromos tulajdonságok és a korrózióállóság szempontjából, és megfelelhetnek a félvezető gyártás komplex teljesítményigényeinek, például a vákuumban és a magas hőmérsékleten. A félvezető berendezések fejlett kerámia anyagkomponenseit elsősorban a kamrákban használják, és ezek közül néhány közvetlenül érintkezik a ostyával. Ezek kulcsfontosságú precíziós alkatrészek az integrált áramköri gyártásban, és öt kategóriába sorolhatók: gyűrűs hengerek, légáramlások, terheléshordozó és rögzített típusok, megfogó tömítések és modulok. Ez a cikk elsősorban az első kategóriáról szól: gyűrűs hengerekről.

Gyűrűk és hengerek

1. Moiré gyűrűk: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben használják. A folyamatkamrán belül helyezkednek el közvetlen érintkezésbe az ostyával, javítják a gázvezetést, a szigetelést és a korrózióállóságot.

2. őrgyűrűk: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben és maratóban használják. A folyamatkamrán belül helyezkednek el, védik a kulcsmodul alkatrészeit, például az elektrosztatikus chuckot és a kerámia fűtést.

3. szélgyűrűk: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben és maratóban használják. A folyamatkamrán belül helyezkednek el, stabilizálják és megakadályozzák a plazma menekülését.

4. Fókuszáló gyűrűk: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben, etcher és ionimplantációs berendezésekben használják. A folyamatkamrán belül helyezkedik el, kevesebb, mint 20 mm -re vannak az ostyától, és a plazmát a kamrában fókuszálják.

5. Védő burkolatok: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben és Etcherben használják. A folyamatkamrán belül helyezkednek el, és elnyelik a folyamatmaradványokat.

6. földelő gyűrűk: főként vékony fóliós lerakódási berendezésekben és maratóban használják. A kamrán kívül helyezkednek el, biztosítják és támogatják az alkatrészeket.

7. Bélés: Elsősorban a folyamatkamrán belül helyezkedő maratókban használják, javítja a gázvezetést és biztosítja az egységesebb filmképződést.

8. Szigetelő henger: Elsősorban vékony fóliós lerakódási berendezésekben, maratókban és ionimplanterekben a folyamatkamrában található, és javítja a berendezés hőmérséklet -szabályozási teljesítményét.

9. Hőelem védelmi cső: Elsősorban különféle félvezető front-end berendezésekben a kamrán kívül helyezkedik el, és a hőelemeket viszonylag stabil hőmérsékleten és kémiai környezetben védi.

A Semicorex kiváló minőségűkerámia termékekfélvezetőben. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com