Szilikon alkatrészek száraz maratáshoz

A száraz marató berendezés nem használ nedves vegyszereket a maratáshoz. Elsősorban egy gáznemű maratószert vezet be a kamrába egy felső elektródán keresztül, apró átmenő lyukakkal. A felső és alsó elektródák által keltett elektromos tér ionizálja a gáznemű maratóanyagot, amely ezután reakcióba lép az ostyára maratandó anyaggal, illékony anyagokat hozva létre. Ezeket az illékony anyagokat ezután kivonják a reakciókamrából, ezzel befejezve a maratási folyamatot.

A száraz maratási reakció egy folyamatkamrában megy végbe, amely elsősorban a következőkből állszilícium alkatrészek, beleértve a szilícium kipufogógyűrűt, egy szilícium külső gyűrűt, egy szilícium zuhanyfejet, egy szilícium fókuszgyűrűt és egy szilícium pajzsgyűrűt.

Száraz maratókamrában a szilícium lapka általában egy szilícium fókuszgyűrűbe van helyezve. Ez a kombináció pozitív elektródaként szolgál, a maratókamra alatt elhelyezve. Negatív elektródaként egy, a kamra felett elhelyezkedő, sűrűn becsomagolt apró átmenőlyukakkal ellátott szilíciumtárcsa szolgál. Egy szilikon külső gyűrű támasztja alá a felső elektródát és az egyéb kapcsolódó alkatrészeket. A felső és az alsó elektródák közvetlenül érintkeznek a plazmával. Ahogy a plazma maratja a szilícium lapkát, a felső és alsó szilícium elektródákat is elhasználja. Az alsó elektróda (fókuszáló gyűrű) a maratási folyamat során fokozatosan elvékonyodik, cserére szorul, ha a vastagság elér egy bizonyos szintet. Ezenkívül a felső elektródán (zuhanyfejen) az egyenletesen elosztott lyukakat a plazma korrodálja, ami a lyuk méretének változását okozza. Ha ezek a változatok elérnek egy bizonyos szintet, ki kell cserélni őket. Általában 2-4 hetente van szükség egy csereciklusra.

Ez a rész konkrétan elmagyarázza a szilícium fókuszáló gyűrű (alsó elektróda) ​​szerepét. Szabályozza a plazmaköpeny vastagságát, ezáltal optimalizálja az ionbombázás egyenletességét. A plazmahüvely, a plazma és az érfal közötti nem-semleges régió a plazmán belül egy döntő és egyedülálló régió. A plazma egyenlő számú pozitív ionból és elektronból áll. Mivel az elektronok gyorsabban haladnak, mint az ionok, először érik el az érfalat. A plazma az érfalhoz képest pozitív töltésű. A köpeny elektromos mezője felgyorsítja az ionokat a plazmában (pozitív-negatív vonzás), nagy energiát kölcsönözve az ionoknak. Ez a nagy energiájú ionfluxus lehetővé teszi a bevonást, a maratást és a porlasztást.

Az ostya impedanciája befolyásolja a plazmaköpeny vastagságát (minél kisebb az impedancia, annál vastagabb a burkolat). Az ostya közepén lévő impedancia eltér a szélén lévőtől, ami egyenetlen plazmaköpeny-vastagságot eredményez a szélén. Ez az egyenetlen plazmaköpeny felgyorsítja az ionokat, de eltéríti az ionbombázási pontot is, csökkentve a maratási pontosságot. Ezért egy fókuszáló gyűrűre van szükség a plazmaköpeny vastagságának szabályozásához, ezáltal optimalizálva az ionbombázás irányát és javítva a maratási pontosságot.

Példaként az ostya körüli fókuszgyűrűt vesszük, míg a kvarc a maga nagy tisztaságával optimális az alacsony fémszennyeződés eléréséhez, a fluorid gázplazmában gyorsan korrodálódik, ami rövid élettartamot eredményez. Ez nemcsak a költségeket növeli, hanem a csere miatti állásidőt is megköveteli, csökkentve a berendezés üzemidejét. A kerámia, bár kellően hosszú élettartammal rendelkezik, nagy energiájú ionbombázásnak van kitéve. A porlasztott alumínium reakcióba lép a plazmában lévő fluorral, így nem illékony fluoridokat (például alumínium-fluoridot) képez. Ha ezeket nem lehet eltávolítani és lerakni a készülék felületére vagy a lapka szélén a fotorezisztre, akkor akadályozzák a keletkezett fluoridok és fotoreziszt későbbi eltávolítását, ami befolyásolja a termék hozamát. Alkalmasabb anyagok az egykristályos szilícium vagy a szilícium-karbid. Az egykristályos szilícium azonban olcsó, de rövid élettartamú, míg a szilícium-karbid drágább, de valamivel hosszabb az élettartama. A két lehetőség közötti kompromisszum az adott körülményektől függ. Például, ha a berendezések kihasználtsága magas, és az üzemidő kritikus, szilícium-karbidot kell használni. Ha az alkatrész kopási költsége nem túl magas, egykristályos szilíciumot kell használni.

A Semicorex kiváló minőséget kínálSzilikon alkatrészek. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com