Felületkezelés csúcsminőségű elektrosztatikus tokmányhoz

Aelektrosztatikus tokmánytöbb funkciót is ellát, mint például az egyenletes elektrosztatikus kisülés, a hővezetés és az ostya adszorpciója és rögzítése a félvezetőgyártás területén. Az ESC egyik alapvető funkciója az ostyák stabil adszorbeálása extrém működési körülmények között, mint például nagy vákuum, erős plazma és széles hőmérsékleti tartomány.

Teljesítményüket nem a külső szerkezet vagy az alapanyag formulája határozza meg igazán, hanem a felületkezelési folyamat. Professzionális felületkezelés nélkül a következő problémákkal kell szembenézni az üzemeltetés során:

1. Plazmaerózió és fémion-szennyeződés

A védetlen kerámia felületek ki vannak téve a plazma eróziónak maratási vagy CVD eljárási beállításoknál. Az ilyen típusú erózió közvetlenül fémionok felszabadulását vagy kerámia részecskék leválását eredményezheti, ezáltal szennyezheti az ostyát.

2. Egyenetlen hővezető képesség és vetemedés deformáció

A durva felületek vagy a rossz kezelés egyenetlen érintkezést eredményez az ostya és az ostya közöttESC, akadályozza a hővezetést és befolyásolja a CD egyenletességét.

3. Instabil elektrosztatikus adszorpció

Az elektrosztatikus tokmány felületi szigetelési teljesítményének vagy vezetőképességének pontatlan szabályozása könnyen elégtelen adszorpciós erőhöz vagy túlzott adszorpcióhoz vezethet, ami végső soron közvetlenül befolyásolja az ostyafeldolgozás hozamát.

A csúcskategóriás ESC-k felülete gyakran kompozit többrétegű szerkezeti kialakítást alkalmaz, és bevonatokon keresztül pontosan szabályozza a funkcionális területeket a valódi nagy teljesítményű integráció elérése érdekében.

A csúcskategóriás ESC-k általános felületkezelési technológiái:

1. Fluoropolimer, nem tapadó bevonatok (például PTFE és PFA)

Ez a fajta bevonat különösen alkalmas alacsony hőmérsékletű feldolgozási környezetekre alacsony felületi szabadenergiája miatt, amely hatékonyan akadályozza meg a fotoreziszt maradványok adszorpcióját.

2. Diamond-Like Carbon (DLC) bevonatok

Nagy keménységükkel, plazmaellenállásukkal és alacsony súrlódási együtthatójukkal alkalmasak maratóberendezésekben az erózió elleni és a részecskeleválás elleni alkalmazásokhoz.

3. PVD vezető kerámia fóliák (például CrSiN és TiN)

Ez a fajta bevonat stabil vezetőpályát tud kialakítani egy adott területen, és ezáltal hatékonyan elkerüli a helyi töltések felhalmozódásának problémáját a felületi töltések egyenletes kisülésének precíz szabályozásával.

4. Kompozit hővezető bevonatok (például gyémántpor és fluorpolimer hibrid bevonat)

Ez a fajta bevonat ötvözi a nem tapadó tulajdonságokat a hővezető képességgel, és általános teljesítménye pontosan megfelel a nagy pontosságú hőszabályozási ESC alkalmazási követelményeinek.