Nagy tisztaságú olvasztott kvarctégely egykristály húzáshoz

Jelenleg a monokristályos szilíciumot polikristályos szilícium nyersanyag felhasználásával és a Czochralski-módszerrel állítják elő. A monokristályos szilícium gyártás során akvarcA tégely kritikus anyag a szilícium olvasztásához és a kristálynövekedéshez, és közvetlen és jelentős hatással van a monokristályos szilícium előállítási költségére és termékminőségére.

Akvarctégelya Czochralski egykristályos kemence kulcseleme. Az egykristályos előkészítési szakasz meghatározza az olyan műszaki paramétereket, mint az átmérő, a kristály orientáció, az adalékolt vezetőképesség típusa, az ellenállási tartomány és eloszlás, az oxigén- és szénkoncentráció, a kisebbségi hordozó élettartama és a szilícium anyag rácshibái. A mikrohibákat, az oxigénkoncentrációt, a fémszennyeződéseket és a hordozókoncentráció egyenletességét egy bizonyos tartományon belül szabályozni kell. A Czochralski egykristályos eljárásban a kvarctégelynek ki kell bírnia a szilícium olvadáspontja (1420 °C) feletti magas hőmérsékletet. A kvarctégelyek többnyire félig átlátszóak és több rétegből állnak. A külső réteg egy nagy buboréksűrűségű terület, amelyet buborékos kompozit rétegnek neveznek; a belső réteg egy 3-5 mm átlátszó réteg, az úgynevezett buborékmentes réteg. A buborékmentes réteg jelenléte csökkenti a tégely sűrűségét az oldattal érintkező területen, így javítja az egykristály növekedését.

Minőségi szempontból a kvarctégely belső rétege az olvadt szilíciummal való közvetlen érintkezés következtében a kristályhúzási folyamat során folyamatosan feloldódik az olvadt szilíciumban.  A tégely átlátszó rétegében lévő mikrobuborékok folyamatosan növekednek és felszakadnak, így kvarcrészecskéket és mikrobuborékokat engednek az olvadt szilíciumba. Ezeket a szennyeződéseket, mikrorészecskék és mikrobuborékok formájában, a szilíciumfolyadék áramlása a szilícium-olvadékban végigviszi, közvetlenül befolyásolva a szilícium kristályosodását és az egykristály minőségét.

A költségek szempontjábólkvarctégelyekA monokristályos szilícium ipari láncban erős fogyóképességgel rendelkeznek, és a folyamatos Czochralski-módszer alkalmazása is magasabb követelményeket támaszt a kvarctégely élettartamával szemben. A kvarctégely nagy tisztasága és magas hőmérséklet-állósága garantálja az egykristály húzását és az egykristály minőséget. A monokristályos szilícium lapkák tisztasági követelményei alapján a kvarctégely egy vagy több hevítési és kristályhúzási ciklus után eldobásra kerül, és rendszeresen cserélni kell, így fogyóeszközzé válik.

Ezenkívül, ha akvarctégelyminőségi problémái vannak a kristályhúzási folyamat során, ez a teljes egykristályos szilícium rúd leselejtezését okozza. A kvarctégelyeket elsősorban elektromos íves eljárással állítják elő, nagy tisztaságú kvarchomok alapanyagaként. A kvarchomok tisztasága a kvarctégely minőségét befolyásoló döntő tényező. A kvarctégely kétrétegű szerkezetű: a külső réteg egy nagy sűrűségű régió, az úgynevezett buborékos kompozit réteg; a belső réteg egy 3-5 mm átlátszó réteg, az úgynevezett buborékmentes réteg.

A belső réteg, a buborékmentes réteg jelenléte csökkenti a buboréksűrűséget azon a területen, ahol a tégely érintkezik az oldattal. Minél alacsonyabb a kvarchomok tisztasága, annál valószínűbb, hogy a magas hőmérsékletű olvadási folyamat során fekete foltok és buborékok keletkeznek. Ha belső homokrétegként használják, a magas hőmérsékletnek való hosszan tartó expozíció a kvarctégely belső falában lévő buborékok felszabadulását okozza, ami befolyásolja az egykristályos szilícium lapkagyártás stabilitását és sikerességét. Ezért a belső homokréteg nagyobb tisztaságú kvarchomokot igényel, ami magasabb árat eredményez. Ezenkívül az olvasztótégelyekhez használt kvarchomok különleges követelményeket támaszt a különböző szennyeződési szintek tekintetében. Például a túlzott alkálifém-szennyeződések kristályosodást okozhatnak a tégelyben, ami átlátszatlansághoz és deformációhoz vezethet, míg a túlzott hidroxiltartalom a tégely felhólyagosodását okozhatja.

Semicorex ajánlatoknagy tisztaságú olvasztott kvarctégely szilícium egykristály húzáshozZárószerkezet: lakattal felszerelt a biztonsági záráshoz/címkézési eljáráshoz.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com