A félvezető és optikai technológiák fejlődésévelüveg ostyákmint az új típusú üvegtermékek, fokozatosan a szilíciumlapkák kiegészítőjévé válnak, nagy potenciált mutatva a csúcstechnológia területén. Mik azok az üveglapkák? Az üveglapkák nagy teljesítményű körkörös vékony szeletek, általában kvarcüvegből, alkálimentes üvegből vagy üveg-szilícium kompozitokból készülnek. Kiváló fizikai és kémiai tulajdonságaikkal pótolhatatlan szerepet töltenek be az élvonalbeli gyártási területeken, például a félvezetőgyártásban, az optikában, a MEMS-ben, a fogyasztói elektronikában, a biomedicinában és a laboratóriumi kutatásokban.
Az üveglapkák főbb anyagai
1.Távol ultraibolya kvarcüveg
Távoli ultraibolyakvarcaz üveget kémiai gőzfázisú leválasztási eljárással állítják elő, ahol a szilícium-tetraklorid gázfázisú reakción megy keresztül oxigén-hidrogén lángban, így amorf szilícium-dioxid keletkezik, amelyet azután egy kvarc hordozóra raknak fel a fokozatos növekedés és képződés érdekében. Ez az anyag nagy mennyiségű hidroxilcsoportot (950-1400 ppm) tartalmaz, kis mennyiségű fémszennyeződéssel, kevesebb, mint 0,2 ppm. Kiváló tulajdonságainak, például sugárzásgátló tulajdonságainak, optikai egyenletességének és magas ultraibolya áteresztőképességének (különösen a távoli ultraibolya tartományban) köszönhetően a távoli ultraibolya kvarcüveget széles körben alkalmazzák a távoli ultraibolya optika területén.
A távoli ultraibolya színű kvarcüveg széles körű alkalmazását azonban bizonyos mértékben korlátozzák olyan tényezők, mint az előkészítési folyamat során könnyen keletkező csíkhibák, a nagy méretű és összetett formájú termékek öntésének nehézsége, valamint a viszonylag magas gyártási költség.
2. Ultraibolya optikai kvarcüveg:
Az ultraibolya optikai kvarcüveget lángolvasztási eljárással úgy állítják elő, hogy a természetes kristályt oxihidrogén lánggal olvasztják, majd lerakják az olvasztott szilícium-dioxid üvegtárgyak felületére. A 150-400 ppm hidroxiltartalmú ultraibolya optikai kvarcüveg kivételes előnyöket kínál, mint például a magas ultraibolya áteresztőképesség, erős kémiai stabilitás, jól termikus stabilitás és nagy mechanikai szilárdság. Kiforrott gyártási folyamatának és magas költséghatékonyságának köszönhetően az ultraibolya optikai kvarcüveget széles körben használják az elektronikai és félvezetőiparban.
Az ultraibolya optikai kvarcüveg azonban gyenge optikai egyenletességgel rendelkezik, és mikroszkopikus hibákat, például csíkokat és mikrobuborékokat tartalmazhat, amelyek befolyásolhatják az optikai képminőséget és a lézerátvitel stabilitását.
3. Infravörös optikai kvarcüveg:
Az infravörös optikai kvarcüveget kristálypor olvasztásával állítják elő vákuumos elektrofúziós eljárással. Ennek az anyagnak alacsony a hidroxiltartalma (<5 ppm), ami kiváló infravörös áteresztőképességet eredményez. Kiváló infravörös áteresztőképességének, jól kémiai tulajdonságainak, valamint nagy mechanikai szilárdságának és kiforrott gyártási technológiájának köszönhetően az infravörös optikai kvarcüveget széles körben használják infravörös optikai alkalmazásokban.
Az infravörös optikai kvarcüveg azonban nagy mennyiségű fémszennyeződést tartalmaz, és viszonylag alacsony lézersérülési küszöbértéket biztosít, így alkalmatlan nagy energiasűrűségű lézeres alkalmazásokhoz és olyan forgatókönyvekhez, amelyek rendkívül magas távoli ultraibolya fényáteresztő képességet igényelnek.