Porózus alumínium-oxid vákuum tokmány

A vákuumtokmány egy csatlakozócsövön keresztül csatlakozik a vákuumberendezéshez. Amikor a vákuumtokmány érintkezik a munkadarabbal, például egy ostyával/vékony filmanyaggal, a vákuumberendezés működésbe lép, és negatív nyomást hoz létre a vákuumtokmány belsejében. Atmoszférikus nyomás alatt a munkadarab szilárdan tapad a vákuumtokmányhoz, lehetővé téve a feldolgozást. A feldolgozás befejezése után a vákuumberendezés leáll, és lassan megtölti a vákuumtokmányt gázzal, automatikusan elválasztva a munkadarabot a tokmánytól. Ezzel befejeződik a munkadarab rögzítése, megmunkálása és kezelése.

A félvezető fotolitográfia alapvető célja, hogy több milliárd tranzisztor áramköri mintát "nyomtasson" nanométeres pontossággal egy lapkára. A "fotolitográfia" lényege, hogy fényforrást használnak a nagy fényérzékenységű fotoreziszt besugárzására, ami kémiai reakciót vált ki, amely bemarja az áramkört. Amikor azonban a fényforrás besugározza az ostyát, az elkerülhetetlenül rávilágít az elektrosztatikus tokmányra is, amely szelethordozóként szolgál. A keletkező visszavert másodlagos fény zavarhatja a fotolitográfiás folyamatot, nem kívánt területeken expozíciót okozva, és károsíthatja az áramkört. Ezért a vákuumtokmány fekete felülete minimálisra csökkenti a visszaverődést, biztosítva a fotolitográfiai rendszer pontossági követelményeit. E képesség alapján a fekete alumínium-oxid nemcsak elektrosztatikus tokmányokban, hanem „fényelnyomó” forgatókönyvekben is széles körben használható. A mesterséges intelligencia korszakának megjelenése jelentős fejlődést tett lehetővé az optikai kommunikációs alkalmazásokban, és a fekete alumínium-oxid szubsztrátumok gyakran láthatók az optoelektronikai eszközök és fénykibocsátó elemek csomagolásában.

Fekete timföld kerámiaelsősorban Al2O3-ból készül, átmeneti fém-oxidokkal színezőanyagként és szinterezési segédanyagként hozzáadva, meghatározott hőmérsékleten szinterezve. A színezőanyag az ilyen típusú kerámiák döntő összetevője, amely meghatározza annak végső színét. A vákuumtokmány színezőanyagának kiválasztásakor elengedhetetlen a vákuumtokmány színének, mechanikai szilárdságának, porozitásának és pórusméretének a biztosítása.

Jelenleg a hazai és nemzetközi színezékként általánosan használt átmenetifém-oxidok közé tartozik a Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 és MnO2, ezek közül a Fe2O3, CoO, NiO és MnO2 a legelterjedtebbek. Mivel az alumínium-oxid kevésbé illékony magas hőmérsékleten, míg az átmenetifém-oxidok ennek ellenkezője, illékonyságuk a hőmérséklettel nő. Ezek az oxidok a magas hőmérsékletű szinterezés során spinell típusú vegyületeket képeznek, ami csökkenti illékonyságukat. Ezért az átmenetifém-oxidok elpárolgásának visszaszorítása érdekében megfelelő folyamatkörülményeket kell kiválasztani, amelyek lehetővé teszik, hogy alacsonyabb hőmérsékleten spinell típusú vegyületekké egyesüljenek.

A Semicorex vámot kínálporózus kerámia vákuum tokmány. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com