A Dummy Wafers rövid bemutatása

A fejlett félvezetőgyártás több folyamatlépésből áll, beleértve a vékonyréteg-leválasztást, a fotolitográfiát, a maratot, az ionimplantációt és a kémiai mechanikai polírozást. A folyamat során a folyamat apró hibái is káros hatással lehetnek a végső félvezető chipek teljesítményére és megbízhatóságára. Ezért jelentős kihívást jelent a folyamatok stabilitásának és konzisztenciájának megőrzése, valamint a berendezések hatékony felügyelete. A dummy ostyák kulcsfontosságú eszközök, amelyek segítenek megbirkózni ezekkel a kihívásokkal.

A dummy ostyák olyan ostyák, amelyek nem tartalmaznak tényleges áramkört, és nem használják őket a végső chipgyártási folyamatban. Ezekostyáklehet vadonatúj, alacsonyabb minőségű teszt ostya vagy újrahasznosított ostya. Eltérően az integrált áramkörök gyártásához használt drága terméklapkáktól, jellemzően különféle, nem gyártáshoz kapcsolódó, a félvezetőgyártáshoz elengedhetetlenül szükséges termékekhez használják.

A Dummy Wafers alkalmazásai

1. Process Qualification & Tuning

A próbalapkákat általában az ilyen helyzetek előtti tesztelésre használják, hogy biztosítsák a folyamat stabilitását és a berendezések teljesítményének megfelelőségét, például új technológiai berendezések üzembe helyezése előtt, a meglévő berendezések karbantartása vagy alkatrészcseréje után, valamint új eljárási receptúrák kidolgozása során. A berendezés teljesítményének ellenőrzése és a folyamatparaméterek pontos beállítása sikeresen elvégezhető a próbalapokon végzett feldolgozási eredmények elemzésével, ami hatékonyan csökkenti a terméklapok veszteségét és csökkenti a vállalkozások gyártási költségeit.

2. Berendezés kondicionálása és bemelegítése

Számos félvezető technológiai berendezés (például vegyi gőzleválasztásos (CVD) berendezés, fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) berendezés és maratógép) kamrákörnyezete jelentős hatással van a feldolgozási eredményekre. Például a bevonat állapotának és hőmérséklet-eloszlásának a kamra belső falain stabil állapotot kell elérnie. Az álostyákat gyakran használják a folyamatkamrák kondicionálására és a kamrák belső környezetének (pl. hőmérséklet, kémiai atmoszféra és felületi állapot) stabilizálására, ami hatékonyan megakadályozza az első adag terméklapkák azon eltéréseit vagy hibáit, amelyeket a berendezés nem az optimális állapotában okoz.

3. Részecske-ellenőrzés és szennyeződés-ellenőrzés

A félvezetőgyártás rendkívül magas tisztasági követelményeket támaszt; még az apró szemcsés szennyeződés is a chip meghibásodásához vezethet. A berendezésbe betáplált próbalapkák felületére tapadt részecskék vizsgálatával értékelhető a berendezés tisztasága. Így a terméklapkák sikeresen megvédhetők a szennyeződéstől a lehetséges szennyeződési források azonnali azonosításával és a tisztítási vagy karbantartási eljárások bevezetésével.

4. Réskitöltés a tételek egyenletessége érdekében

A gázáramlás, a hőmérséklet-eloszlás és a reagenskoncentráció elérése érdekében a folyamatkamrában a teljes terhelésű működés az általános gyakorlat a szakaszos feldolgozó berendezésekben, például diffúziós kemencékben, oxidációs kemencékben vagy nedves tisztító tartályokban. Dummy ostyákat használnak az ostyahajó üres réseinek kitöltésére, amelyekben nincs elegendő számú terméklapka, ami csökkentheti a peremhatást, és egyenletes feldolgozási feltételeket biztosít az összes termék ostya számára, különösen az ostyahajó szélein elhelyezkedők esetében.

5. A kémiai mechanikai polírozási (CMP) folyamatok stabilizálása

A próbalapkák a CMP-folyamat előkezelési szakaszában is használhatók a folyamat stabilitásának megőrzése érdekében. A próbalapokkal végzett előzetes tesztelés optimalizálja a polírozópárna érdességét és porozitását, minimalizálja a folyamat bizonytalanságát az indítási stabilizálási szakaszban vagy a leállítás előtti átmeneti fázisban, valamint csökkenti a lapka karcolódásait és hibáit, amelyeket a rendellenes hígtrágyaellátás és a fejmembrán kopása okoz.

A Semicorex költséghatékonySiC dummy ostyák. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com