Szerkezeti különbségek a különböző típusú reaktorok között

A reakciókamra konfigurációja alapján a hőkezelő berendezéseket (kemencecső-berendezések) főként három kategóriába sorolják: függőleges kemencecsövek, vízszintes kemencecsövek és gyors hőfeldolgozó (RTP) kemencék.

A függőleges kemencecsövek függőlegesen elhelyezett kvarccsövekkel rendelkeznek, az ostyák a csövek körül vannak elhelyezve fűtés céljából. Legfontosabb előnyük az egyenletes hőmérséklet-eloszlás, a precíz légkör szabályozás, a magas automatizálás, a kisebb részecskeszennyeződés, a kis helyigény, valamint a kötegelt feldolgozás támogatása (különösen a 12 hüvelykes ostyákhoz), így a jelenleg elérhető fő berendezés. A globális piac mérete 2024-ben elérte a 3,2 milliárd dollárt (SEMI adatok). Hátrányaik közé tartozik a könnyű gáz-folyadék elválasztás, valamint a közeg lefelé irányuló áramlása, ami a kemencecső kiégését okozhatja.

A vízszintes kemencecsövek vízszintesen elhelyezett kvarccsövekkel rendelkeznek, amelyek egyszerre 100-200 ostyát dolgoznak fel. Előnyük az egyenletes gáz-folyadék áramlás a kemence csövében és a pontosabb hőmérsékletszabályozás. Hátrányaik közé tartozik a nagyobb alapterület és a magasan ötvözött acél közbenső csőtartók nagyobb fogyasztása. Szerkezetileg a vízszintes kemencecsövek az ostyákat függőlegesen helyezik el a vízszintes csövekben feldolgozás céljából.

A Rapid Thermal annealing (RTP) kemencék halogén infravörös lámpákat használnak az egyes lapkák gyors felmelegítésére, gyors fűtési és hűtési sebességet kínálva, amely csak a lapka hőmérsékletét változtatja meg a kamra hőmérsékletének megváltoztatása nélkül. Alkalmasak kis tételes gyors lágyításra, de tömeggyártásra nem.

Az ostyafeldolgozás során a vízszintes kemencecsövek az ostyát egy kvarccsónakra helyezik, amely viszont egy szilícium-karbid (SiC) tartókeretre támaszkodik. A tartókeret ezután a kvarckemence csőbe tolódik, ahol az ostya egy állandó hőmérsékletű zónában reakcióba lép. A függőleges kemencecsövek ezzel szemben egy kvarc toronyra helyezik az ostyát, és lassan a kvarc kemencecsőbe emelik a feldolgozáshoz. A reakció után az ostyát lassan leeresztik, hogy megakadályozzák a hajlítást vagy a törést.

A Semicorex kiváló minőségű, személyre szabott termékeket szállítkvarckemence reaktor. Termékeinket úgy tervezték, hogy kiváló hőstabilitást, meghosszabbított élettartamot és kivételes folyamatkonzisztenciát biztosítsanak. Személyre szabott megoldásokért vagy további műszaki információkért forduljon mérnökcsapatunkhoz.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com