A SiC kristályok hibáiról - Mikrocső

A SiC szubsztrátumnak lehetnek mikroszkopikus hibái, mint például a menetcsavar diszlokáció (TSD), a menetél diszlokáció (TED), az alapsík diszlokáció (BPD) és mások. Ezeket a hibákat az atomok atomi szintű elrendezésének eltérései okozzák. A SiC kristályoknak lehetnek makroszkópikus diszlokációi is, például Si- vagy C-zárványok, mikrocső, hatszögletű üregek, polimorfok stb. Ezek a diszlokációk jellemzően nagy méretűek.

A SiC-eszközök gyártásának egyik fő problémáját a háromdimenziós mikrostruktúrák jelentik, amelyek "mikrocsőként" vagy "tűlyukként" ismertek, amelyek általában 30-40 um, illetve 0,1-5 um méretűek. Ezeknek a mikrocsöveknek a sűrűsége 10-10³/cm², és áthatolhatnak az epitaxiális rétegen, ami eszközölő hibákat eredményez. Elsősorban a spiro-diszlokációk csoportosulása okozza, és a SiC-eszközök fejlesztésének elsődleges akadálya.

Az aljzaton lévő mikrotubulus-hibák a növekedési folyamat során az epitaxiális rétegben kialakuló egyéb hibák forrásai, például üregek, különböző polimorfok zárványai, ikrek stb. Ezért a legfontosabb tennivaló a szubsztrát anyagának növekedési folyamata során a nagyfeszültségű és nagy teljesítményű SiC eszközök esetében az, hogy csökkentse a mikrotubulus hibák kialakulását az ömlesztett SiC kristályokban, és megakadályozza azok bejutását az epitaxiális rétegbe.

A mikrocsövet kis gödröknek tekinthetjük, és a folyamat körülményeinek optimalizálásával a mikrocső sűrűsége csökkentése érdekében "feltölthetjük a gödröket". Számos szakirodalmi tanulmány és kísérleti adat kimutatta, hogy a párolgási epitaxia, a CVD növekedése és a folyadékfázisú epitaxia kitöltheti a mikrocsövet, és csökkentheti a mikrocső és a diszlokációk kialakulását.

A Semicorex a MOCVD technikát alkalmazva olyan SiC bevonatokat hoz létre, amelyek hatékonyan csökkentik a mikrocső sűrűségét, így kiváló minőségű termékeket állítanak elő. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com