Tantál-karbid bevonatok a félvezetőiparban

A nagy teljesítményű kék ​​és UV LED-ek fejlesztése lehetővé tette a színes LED TV-kijelzők, valamint a fehér LED-es autóipari és háztartási világítás létrehozását. Ezek a LED-ek gallium-nitriden alapulnak, amelyet MOCVD eljárással CVD SiC bevonatú grafit szuszceptorral támogatott szubsztrát lapkákra helyeznek fel. A SiC bevonatot azonban megtámadja a folyamatban használt ammóniagáz, ami csökkenti annak élettartamát. A bevonat élettartamának növelése és az összköltség csökkentése érdekében az iparágnak új, inertebb bevonási lehetőségre van szüksége. A tantál-karbidot csereként fontolgatják, mivel ez nagymértékben növelheti az agresszív atmoszférával szembeni ellenállást, és olyan megoldást kínál, amely jelenleg nem elérhető. A Semicorex CVD TaC bevonatú grafit alkatrészeket ad el a félvezetőipar beszállítóinak.

TaC bevonatú grafittermékeink kiváló hőállóságukról ismertek a SiC bevonatú grafittermékekhez képest. Ennek eredményeként népszerűen használják félvezető feldolgozásban, például SiC lapkák epitaxiális folyamatában, amelyeket magasabb hőmérsékleten használnak. Termékeink iránti kereslet a piac növekedésével párhuzamosan növekszik.

A Semicorex kiváló minőségű TaC bevonatú grafit alkatrészeket kínál testreszabott szolgáltatással. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com