A porózus grafit anyagok jelentősége a SiC kristálynövekedésben

A Semicorex SiC kristálynövesztő kemence komponense, aporózus grafit hordó, három nagy előnnyel jár, és hatékonyan erősítheti a hazai versenyképességetSiC hordozók:

• Csökkentse a SiC kristálynövekedési összetevők költségét;
• Növelje a SiC kristály vastagságát és csökkentse a hordozó összköltségét;
• Javítja a SiC kristályhozamot és fokozza a vállalati versenyképességet.

A porózus grafitlemezek szilícium-karbid kristálynövekedő kemencékhez való hozzáadása az egyik legforróbb pont az iparágban. Bebizonyosodott, hogy az aporózus grafitA SiC forráspor feletti lapok jó tömegátadást érnek el a kristályterületen, ami javíthatja a hagyományos kristálynövesztő kemencékben meglévő különféle műszaki problémákat.

(a) Hagyományos kristálynövesztő kemence, (b) Kristálynövesztő kemence porózus grafitlappal

Forrás: Dongui Egyetem, Dél-Korea

Kísérletek kimutatták, hogy a hagyományos kristálynövesztő kemencék használatakor a SiC szubsztrátumok általában különbözőekpolimorfok6H és 15R-SiC, mígSiC hordozókcsak porózus grafit alapú kristálynövesztő kemencékkel készültek4H-SiC monokristály. Ezenkívül a mikrocső sűrűsége (MPD) és a maratási gödör sűrűsége (EPD) is jelentősen csökken. A két kristálynövesztő kemence MPD-je 6-7EA/cm2, illetve 1-2EA/cm2, ami lehetakár 6-szorosára csökkenthető.

A Semicorex egy új "egyszeri tömegátviteli" folyamatot is elindított, amely alapjánporózus grafitlapok. A porózus grafit nagyon jótisztító képesség. Az új eljárás új hőteret használ az elsődleges tömegátadáshoz, ami javítja és alapvetően állandósítja az anyagátvitel hatékonyságát, ezáltal csökkenti az átkristályosodás hatását (elkerülve a másodlagos tömegátadást), hatékonyan csökkenti a mikrotubulusok vagy Egyéb kapcsolódó kristályhibák kockázatát. Ezenkívül a porózus grafit az egyik alapvető technológia a SiC kristálynövekedés és -vastagság problémájának megoldásában, mivel képes kiegyensúlyozni a gázfázisú összetevőket, elkülöníteni a nyomokban lévő szennyeződéseket, beállítani a helyi hőmérsékletet és csökkenteni a fizikai részecskéket, például a szén-csomagolást. Feltéve, hogy a kristály használható,a kristály vastagságacsökkenthető. jelentősen megnőhet.

Műszaki jellemzőiSemicorex porózus grafit:

A porozitás elérheti a 65%-ot;

A pórusok egyenletesen oszlanak el;

Magas tételstabilitás;

Nagy szilárdságú, elérheti a ≤1 mm-es ultravékony hengeres formát.

A Semicorex kiváló minőséget kínálporózus grafitalkatrészek. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com