Mi az a SOI

A szilícium-szigetelőt (SOI) a nanotechnológiai korszakban a meglévő monokristályos szilícium anyagok helyettesítésének egyik megoldásaként ismerik el, és ez a Moore-törvény irányzatának fenntartásának fő eszköze. A Silicon-on-insulator hordozó technológia, amely a hagyományos ömlesztett szubsztrát szilíciumot "mérnöki" szubsztrátumra cseréli, több mint 30 éve használják speciális alkalmazásokban, például katonai és űrelektronikai rendszerekben, ahol a SOI egyedülálló előnyökkel rendelkezik a kiváló tulajdonságai miatt. sugárzásállóság és nagy sebességű jellemzők.

A SOI-anyagok a SOI-technológia fejlesztésének alapját képezik, a SOI-technológia fejlődése pedig a SOI-anyagok folyamatos fejlődésétől függ. Az alacsony költségű, jó minőségű SOI-anyagok hiánya volt az elsődleges akadálya a SOI-technológiának a nagyszabású ipari termelésbe való belépésben. Az elmúlt években a SOI anyag-előkészítési technológia érettségével fokozatosan megoldódik a SOI technológia fejlődését korlátozó anyagprobléma, amely végső soron kétféle SOI anyag-előkészítési technológiát foglal magában, nevezetesen a Speration-by-oxygen implantációt (SIMOX) és ragasztási technológia. A kötési technológia magában foglalja a hagyományos Bond and Etch back (BESOI) technológiát és a hidrogénion-injektálást és kötést ötvöző Smart-cut technológiát, amelyet M. Bruel, a francia SOITEC egyik alapítója javasolt, valamint a Simbond SOI anyag-előkészítési kombinációt. az oxigénszigetelést és -kötést Dr. Meng Chen javasolta 2005-ben. Az új technológia egyesíti az oxigén befecskendezési szigetelést és a kötést.