Al2O3 Vákuumos tokmány

Alkalmazások a félvezető gyártásban

A Semicorex Al2O3 vákuumtokmány egy sokoldalú eszköz, amelyet a félvezetőgyártás több szakaszában használnak:

Hígítás: Az ostyahígítási folyamat során az Al2O3 vákuumtokmány stabil és egyenletes alátámasztást biztosít, biztosítva a nagy pontosságú hordozócsökkentést. Ez döntő fontosságú a forgács hőelvezetésének javítása és az eszköz teljesítményének javítása szempontjából.

Kockavágás: A kockákra vágott szakaszban, amikor az ostyákat egyedi forgácsokra vágják, az Al2O3 vákuumtokmány biztonságos és stabil adszorpciót kínál, minimálisra csökkentve a sérülés kockázatát és tiszta vágást biztosít.

Tisztítás: Az Al2O3 vákuumtokmány sima és egyenletes adszorpciós felülete alkalmassá teszi az ostyatisztítási folyamatokhoz, biztosítva a szennyeződések hatékony eltávolítását az ostyák károsodása nélkül.

Szállítás: Az ostyák kezelése és szállítása során az Al2O3 vákuumtokmány megbízható és biztonságos alátámasztást nyújt, csökkentve a sérülés és a szennyeződés kockázatát.

SemicorexVákuumChuck Flow

A Semicorex Al2O3 vákuumtokmány előnyei

1. Egységes mikroporózus kerámia technológia

Az Al2O3 vákuumos tokmány mikroporózus kerámia technológiával készült, amely egyenletes méretű nanoporok felhasználásával történik. Ez a technológia biztosítja a pórusok egyenletes eloszlását és összekapcsolását, ami nagy porozitást és egyenletesen sűrű szerkezetet eredményez. Ez az egyenletesség növeli a vákuumtokmány teljesítményét, egyenletes és megbízható szelettartást biztosítva.

2. Kivételes anyagtulajdonságok

Az Al2O3 vákuumtokmányban használt ultratiszta, 99,99%-os alumínium-oxid (Al2O3) számos kivételes tulajdonságot kínál:

Hőtulajdonságok: A nagy hőállósággal és kiváló hővezető képességgel az Al2O3 vákuumtokmány ellenáll a félvezetőgyártás során gyakran előforduló magas hőmérsékleteknek.

Mechanikai tulajdonságok: Az alumínium-oxid nagy szilárdsága és keménysége biztosítja, hogy az Al2O3 vákuumtokmány tartós és ellenáll a kopásnak, így hosszan tartó teljesítményt nyújt.

Egyéb tulajdonságok: Az alumínium-oxid magas elektromos szigetelést és korrózióállóságot is kínál, így az Al2O3 vákuumtokmány számos gyártási környezethez alkalmas.

3. Kiváló laposság és párhuzamosság

Az Al2O3 vákuumtokmány egyik legfontosabb előnye a nagy laposság és párhuzamosság. Ezek a tulajdonságok kulcsfontosságúak az ostya precíz és stabil kezeléséhez, a károsodás kockázatának minimalizálásához és a következetes feldolgozási eredmények biztosításához. Ezenkívül az Al2O3 vákuumtokmány jó légáteresztő képessége és egyenletes adszorpciós ereje egyenletes és megbízható működést biztosít.

4. Testreszabási lehetőségek

A Semicorexnél tisztában vagyunk azzal, hogy minden félvezető gyártási folyamatnak egyedi követelményei vannak. Ezért kínálunk testreszabott vákuum tokmányokat az Ön egyedi igényeinek megfelelően. A szükséges síkságtól és gyártási költségektől függően különböző alapanyagokat ajánlunk, így biztosítva, hogy a vákuumtokmány súlya és teljesítménye az alkalmazáshoz optimalizálva legyen. Ezek az anyagok közé tartozik a SUS430 rozsdamentes acél, a 6061 alumíniumötvözet, a sűrű alumínium-oxid kerámia (elefántcsont színű), a gránit és a sűrű szilícium-karbid kerámia.

Al2O3 Vákuumos tokmány CMM mérés