Alumínium -oxid kerámia kar

A Semicorex alumínium -oxid kerámia kar egy olyan tervezett alkatrész, amelyet a félvezető alkalmazások legmagasabb előírásainak megfelelően fejlesztettek ki. A nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂o₃) készítve egy robotkar, amely a mechanikai szilárdság, a hőstabilitás és a kémiai ellenállás egyedülálló kombinációját tartalmazza. A karot nemcsak az ostyakezeléshez tervezték, hanem a fejlett gyártási helyeknél is folyamat támogatást kell nyújtania. Azt is biztosítania kell, hogy az ostyákat szennyeződés vagy károsodás nélkül áthelyezzék, elhelyezzék és feldolgozzák; A hozamok és a folyamat megbízhatóságának javítása.

Alumínium -oxidaz egyik műszaki kerámia, amely a műszaki kerámia területén a legszélesebb körű felhasználást találja. Az alumínium -oxid keménységéről, kopásállóságáról és stabilitásáról ismert agresszív környezetben. A kerámia kar célkitűzéseire az ostyakezelést a szennyeződés bevezetése nélkül kezelni tudja az alumínium -oxid tulajdonságait, és sokkal magasabb szintű ellenállást biztosíthat a kopáshoz, annak nagy tisztaságának és részecskeméretének következménye; Ezért nem generál túlzott részecskéket az ismételt mozgása során, sem ostyákkal, sem másfajta félvezető szubsztrátokkal.  A sűrűség és az alacsony porozitás, amellyel ez szintén korlátozza a szabadon bontott részecskék potenciálját, és biztosítja, hogy megfelel-e a félvezető fejlesztési FAB-k rendkívül tiszta követelményeinek, anélkül, hogy megsemmisítené a szubmikron eszközkezeléshez szükséges tisztaságot.

Alumínium -oxidMechanikai ereje mellett kivételes termikus stabilitással rendelkezik. Az alumínium -oxid kerámia karja elviselheti a szélsőséges folyamatok hőmérsékletét, megsemmisítés, repedés vagy az erejének elvesztése nélkül. Ez a tulajdonság ideálissá teszi minden olyan folyamatba történő beépítést, amely magában foglalja a megnövekedett hőmérsékletek, például a diffúzió, az oxidáció vagy az égési lépések kitettségét. Az ostyák jobb megbízhatósággal rendelkeznek az átadáshoz egy kihívást jelentő folyamatkörnyezetben, mivel megőrzi a mechanikai integritást a termikus kerékpározás során.

A kémiai rezisztencia az alumínium -oxid kerámia karjának másik alapvető pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív pozitív szervezet értelem értelemben. A félvezető gyártás során a kezeléseket gyakran olyan ostyákon végzik, amelyek erős savakat, lúgokat és más agresszív vegyi anyagokat tartalmaznak. Míg a fémkomponensek korrodálódhatnak vagy kimosódhatnak a szennyeződések, az alumínium -oxid kémiailag inert, ami védi mind a kar, mind az általa kezelt ostyák integritását. Ezért a tehetetlenség meghosszabbítja az alkatrész élettartamát, miközben csökkenti a szennyeződés lehetőségét a kritikus folyamatok során, mint például a nedves tisztítás vagy a kémiai gőzlerakódás.

Az alumínium -oxid kerámia karját a kompatibilitásra és a pontosságra összpontosítva tervezték. Mindegyik karot szűk méretű toleranciákra készítik, biztosítva a ostya pontos igazítását, valamint a mozgást, valamint a kompatibilitást az automatizált ostyakezelő berendezésekkel és robotrendszerekkel. A sima, csiszolt felületi felület alacsony súrlódási felületet tartalmaz, az ostyával, amely csökkenti az ostya karcolásának esélyét, ami nélkülözhetetlen az ostya integritásához/a környezet tisztaságához és a hibás sebesség csökkentéséhez. Ezek a tervezett toleranciák biztosítják, hogy a kar szabadon működjön egy gyors ütemű, nagy teljesítményű környezetben, és lehetővé teszi mind az emberi, mind a teljesen automatizált félvezető munkafolyamatokat a kar számára.

Az alumínium -oxid kerámia karja meghaladja a kémiai és mechanikai teljesítményt, és befolyásolja a működési hatékonyságot és a költségmegtakarítást több szinten. A kerámia bizonyított tartós jellege lehetővé teszi a kar számára, hogy felülmúlja a kompozit anyagokat, például a műanyagokat vagy az alumíniumot, a hosszú élettartam szempontjából ismétlődő mechanikus terhelés mellett, és ezért csökkenti az érintett működési leállási és/vagy pótlási költségek mennyiségét. A durva környezet ellenállásának képessége magában foglalja a környezeti tisztaságot, miközben kevesebb gyártási megszakítást eredményez, ami javítja a következetes ostyakermelést, azaz a hozamot, és végül kevesebb hulladékot eredményez a félvezető gyártók magasabb megtérülési (befektetési megtérüléséhez).

AAlumínium -oxid kerámiaA félvezető folyamatok karja gyakorlatilag végtelen - a nedves padok, a diffúziós kemencék és a lerakódási kamrák közötti mozgó ostyáktól kezdve a szubsztrátok felhasználásával történő ellenőrzéséig és metrológiai eszközökig. Ennek a terméknek a sokoldalúsága nemcsak lehetővé teszi az ostyakezelő alkalmazásokhoz való felhasználást, hanem a további automatizálási helyzeteket, ahol pontosság, tisztaság és megbízhatóság is szükséges. A félvezetőipar kifoghatatlanul mozog a kisebb csomópontok és a megnövekedett bonyolultság felé az eszközgyártáson belül, és mivel az iparág továbbra is jobb kezelési megoldásokat igényel, amelyek megbízhatóak és nem szennyeződnek, a kerámia robotkar egyértelmű utat teremt.