Alumínium-oxid kerámia manipulátor

Alumínium-oxid kerámia manipulátortimföld kerámiavillának és ostyakezelő végeffektornak is nevezik. Az ostyakezelő robotra van felszerelve, és egyenértékű a robot kezével. Félvezető lapkák szállítására, szállítására és elhelyezésére szolgál.Szilícium ostyákrendkívül érzékenyek a más részecskék által okozott szennyeződésekre, ezért a tisztaság biztosítása érdekében jellemzően vákuum környezetben kezelik őket. Az alumínium-oxid kerámia manipulátorok negatív nyomású szívást használnak a lapkák eltávolítására és a félvezető lapkák szállítására a kar teleszkópos, forgó és emelő mozdulataival. Az alumínium-oxid kerámia manipulátor belsejében léglyukak és szellőzőhornyok vannak, amelyek levegőszivattyúzáskor vákuumot képezhetnek, így a félvezető lapkák könnyű érintkezéssel adszorbeálhatók anélkül, hogy a félvezető lapkák becsípődnének vagy károsodnának.

Köztudott, hogy minél tisztább az összetételetimföld kerámiavagyis annál nagyobb lesz az erőssége. A Semicorex timföldkerámia manipulátorok nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámiából készülnek. Ez kivételes mechanikai szilárdságot és keménységet eredményez. Kopásállóságuk messze meghaladja az acél és a krómacél kopásállóságát, lehetővé téve a felületi pontosság megőrzését az idő múlásával nagy súrlódású környezetben, csökkentve az ostya karcolódásának kockázatát, és ideálissá teszi őket a nagy pontosságú kezeléshez. Ez az alumínium-oxid kerámia manipulátor nagy ellenállással rendelkezik. Kiemelkedő elektromos szigetelési tulajdonságai hatékonyan megakadályozzák az elektrosztatikus interferenciát, és csökkentik a részecskék adszorpciójának kockázatát az ostyafelület tisztaságának megőrzése érdekében. Ezenkívül a félvezető gyártási folyamat összetett áramköröket és nagyfeszültségű környezeteket foglal magában a berendezésen belül. A nagy ellenállású alumínium-oxid kerámia manipulátor hatékonyan blokkolja az áramvezetést, biztosítva az elektromos biztonságot a félvezető lapkák kezelése során. Az alumínium-oxid kerámia magas hőmérsékleti ellenállásának és hőstabilitásának köszönhetően a manipulátor nagyon kis mértékben deformálódik a félvezető hőkezelési folyamat során, pontosan tudja pozícionálni az ostyákat, és elkerüli a termikus deformáció okozta precíziós eltérést. Ezenkívül ez az anyag kiváló kémiai stabilitással rendelkezik, és nagyon ellenáll a savak, lúgok, fémolvadék stb. okozta korróziónak. Nem könnyű reakcióba lépni más anyagokkal, hogy szennyező részecskéket szabadítsanak fel, és hatékonyan védi a félvezető alkatrészeket a vegyi szennyeződésektől.