A Semicorex alumínium-oxid kerámia vákuumtokmányt a félvezetőgyártás ostya vékonyítási és köszörülési folyamataiban alkalmazzák, nélkülözhetetlen eszközként szolgálva a nagy pontosságú és megbízható félvezetőgyártás megvalósításához.**
A Semicorex alumínium-oxid kerámia vákuumtokmány alapvető szerepet játszik a félvezetőgyártás szelet vékonyítási és csiszolási fázisában. Ezek a szakaszok magukban foglalják az ostya hordozó vastagságának aprólékos csökkentését a forgács hőelvezetésének fokozása érdekében, ami létfontosságú a félvezető eszközök hatékonyságának és élettartamának javításához. Az ostyák precíz specifikációk szerinti vékonyítása szintén kulcsfontosságú a fejlett csomagolási technikák elősegítése szempontjából.
Kompatibilitás több ostyamérettel
Az alumínium-oxid kerámia vákuumtokmányt úgy tervezték, hogy támogassa a szeletméretek széles skáláját, beleértve a 2, 3, 4, 5, 6, 8 és 12 hüvelykeseket. Ez az alkalmazkodóképesség a félvezetőgyártási környezetek széles skálájához alkalmassá teszi, biztosítva a konzisztens és megbízható teljesítményt a különböző lapkaméretekben.
Kiváló anyagösszetétel
Az alumínium-oxid kerámia vákuumtokmány alapja ultratiszta 99,99%-os alumínium-oxidból (Al2O3) készült, amely kivételes ellenállást biztosít a vegyi hatásokkal szemben és hőstabilitást biztosít. Az adszorpciós felület porózus szilícium-karbidból (SiC) készül. A porózus kerámiaanyag kompakt és egységes szerkezete növeli annak tartósságát és teljesítményét.
A mikropórusos kerámia technológia előnyei
Fokozott laposság és párhuzamosság: A mikroporózus alumínium-oxid kerámia vákuumtokmány kivételes laposságot és párhuzamosságot biztosít, precíz szeletkezelést és stabilitást biztosítva.
Optimális porozitás és légáteresztő: A jól elosztott mikropórusok kiváló légáteresztő képességet és egyenletes adszorpciós erőt biztosítanak, ami egyenletes és egyenletes működést eredményez.
Anyagtisztaság és tartósság: A 99,99%-os tisztaságú alumínium-oxidból készült alumínium-oxid kerámia vákuumtokmányunk ellenáll a kémiai támadásoknak, és figyelemre méltó hőstabilitást kínál, így alkalmas az igényes gyártási környezetekhez.
Testreszabható minták: Számos testreszabható formát kínálunk, beleértve a körkörös, négyzetes, hurkos és L-alakú mintákat, 3 mm-től 10 mm-ig terjedő vastagságválasztékkal. Ez a testreszabás biztosítja, hogy alumínium-oxid kerámia vákuumtokmányunk megfeleljen a különböző félvezetőgyártási folyamatok speciális igényeinek.
Változatos alapanyag-opciók: A síkosságra és a gyártási költségekre vonatkozó követelmények alapján adunk ajánlásokat a különböző alapanyagokhoz, mint például a SUS430 rozsdamentes acél, a 6061 alumíniumötvözet, a sűrű alumínium-oxid kerámia (elefántcsont színű), a gránit és a sűrű szilícium-karbid kerámia. Minden anyagot úgy választanak ki, hogy optimalizálják az alumínium-oxid kerámia vákuum tokmány súlyát és teljesítményét.