Alumíniumoxid End Effector

A Semicorex Alumina End Effector anyagának kiválasztását a nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia egyedi alkalmassága határozza meg a félvezetőgyártás során előforduló zord környezetekben: 

Rendkívüli tisztaság a szennyeződés ellenőrzéséhez: Az Alumina End Effector, amely nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámiát tartalmaz szubsztrátumként, rendkívül alacsony szennyeződési szintje jellemzi, ami biztosítja, hogy ne kerüljön be olyan szennyeződéseket, amelyek veszélyeztethetik az érzékeny félvezető eszközök elektromos tulajdonságait vagy teljesítményét.

Magas hőmérsékleti stabilitás a folyamatok sokoldalúságáért:Az Alumina End Effector kiváló termikus stabilitást mutat, megőrzi szerkezeti integritását és méretpontosságát még olyan megemelt hőmérsékleteken is, mint a termikus oxidáció, diffúzió és kémiai gőzleválasztás.

Kémiai tehetetlenség zord környezetben:Az Alumina End Effector benne rejlő vegyi ellenálló képessége révén áthatolhatatlanná válik a félvezető-feldolgozás során általánosan használt savak, bázisok és oldószerek széles skálájával szemben. Ez a tehetetlenség megakadályozza a végső effektor korrózióját vagy leépülését, biztosítva annak hosszú távú teljesítményét, és minimálisra csökkenti a részecskeszennyeződés kockázatát.

Robusztus mechanikai tulajdonságok a meghosszabbított élettartam érdekében:Az alumínium-oxid kerámiák keménységükről, kopásállóságukról, valamint az ismételt kezelési és tisztítási ciklusoknak ellenálló képességükről ismertek, anélkül, hogy leromlana. Ez a robusztusság az Alumina End Effector meghosszabbított élettartamát jelenti, csökkentve a csereköltségeket és az állásidőt.

Az Alumina End Effector precizitása, tisztasága és tartóssága miatt számos kritikus félvezető-gyártási folyamat lényeges alkotóelemévé vált:

Fotolitográfia:A szelet pontos beigazítása és elhelyezése a legfontosabb a fotolitográfiában, ahol már a kis eltérések is eltolódási hibákhoz és eszközhibákhoz vezethetnek. Az Alumina End Effector biztosítja a szükséges pontosságot és stabilitást ehhez a kritikus folyamatlépéshez.

Kémiai mechanikai síkosítás (CMP):A CMP-ben részt vevő kémiailag agresszív iszapoknak és mechanikai erőknek ellenálló képessége ideálissá teszi az Alumina End Effectort az ostyák kezelésére ebben a kritikus folyamatban, amely síkítja az ostya felületét a későbbi rétegezéshez.

Ostyavizsgálat és metrológia:Az Alumina End Effector nem szennyező és nem károsító jellege ideálissá teszi az ostyák kezeléséhez az ellenőrzési és metrológiai folyamatok során, biztosítva a pontos méréseket és minimálisra csökkentve a hibák kialakulásának kockázatát.