Alumínium -oxid rögzítő alaplemezek

A Semicorex alumínium-oxid rögzítő alaplemezek nagy tisztességes kerámia termékek, amelyek tartós és stabil alapként vannak kialakítva a félvezető gyártóberendezésekben a munkafüzetek felszereléséhez. Ezek a lemezek kritikus mechanikai támogatást és igazítást biztosítanak az ostya -feldolgozási műveletekhez, például a litográfia, a maratás, a lerakódás és az ellenőrzéshez. Alapvető fontosságú, hogy pontosan összehangoljuk a munkát más rendszerkomponensekkel, hogy megbizonyosodjanak arról, hogy az ostya feldolgozása előfordulhat a szükséges hűséggel. A lemezeket a kerámiára jellemző feldolgozási technikákon keresztül gyártják, hogy elérjék a szükséges síkosságot, a magas hőmérsékleten tartós tartósságot és a hosszú távú megbízhatóságot, hogy megfeleljenek a modern félvezető gyártás szigorú követelményeinek mind a folyamat, mind a tiszta szoba környezetében.

A Semicorex alumínium-oxid rögzítő alaplemezek nagy tisztaságból készülnekalumínium -oxidtisztasági szintje ≧ 99,5% (tipikus). A nagy tisztaságú alumínium-oxid jó mechanikai és hőkezelő tulajdonságokkal, valamint keménységgel rendelkezik. A nagy tisztaságú alumínium-oxid kiválóan rejlő elektromos szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik, amelyek lehetővé teszik ezeknek a lemezeknek a vákuumban és a nagyfeszültségű alkalmazásokban történő felhasználását, ahol az elektromos interferencia problémát jelenthet. Az alumínium -oxid ellenáll a termikus ciklusnak, amely lehetővé teszi a lemezek jobb dimenziós pontosságának fenntartását, mint a legtöbb anyag, és előnyös az igazítás vagy a szerkezeti stabilitás fenntartásához a csökkentett hőtágulás miatt. Ez a tényező fontos a Chuck megismételhetőségének és az implicit folyamattűrésnek a biztosításában, miközben kiterjesztett termelési ciklusokon keresztül működik.

A félvezető feldolgozó rendszerekben a szerelő alaplemez nem csupán a mechanikus rögzítéshez szükséges eszköz. Ez a hőkapcsolat és a berendezés többi része közötti termikus érintkezés közege, és kritikus jelentőségű a termikus eloszlás, a szerkezeti integritás és a rezgés elszigetelése szempontjából. Az olyan feldolgozási tevékenységek, mint például (de nem kizárólag) CVD, PVD vagy ionimplantáció, ahol a magas hőmérsékletek és vákuumnyomás gyakori, a szerelőbázishoz hőálló, kémiailag inert és ellenálló, mechanikusan megalapozott és hőkannyel szemben rezisztens. A kémiai tehetetlenség létfontosságú, mivel a tartónak kompatibilisnek kell lennie a reaktív gázokkal, valamint a kémiai tisztításokkal, meghosszabbítva a tartó hasznos élettartamát és megakadályozva a szennyeződést.

Minden, a Semicorex által készített alumínium -oxid -szerelő alaplemez a félvezető OEM -ek és a berendezés -integrátorok által megkövetelt toleranciákra van szükség. A lemezeket szoros toleranciákra kell megmunkálni a vastagság, a magasságváltozás és a síkság szempontjából, hogy biztosítsák a maximális stabilitást és megismételhetőséget. Ezeket a szerelő lemezeket szerelő lyukakkal, résekkel vagy az ügyfél -specifikációkkal készíthetjük, hogy jobban befogadják a munkacsokokat, a mechanikai szakaszokat vagy más berendezéseket. Az alumínium -oxid kerámia modern szinterezési és precíziós csiszolási technikákkal dolgozik fel, hogy optimalizálja az egységes mikroszerkezet és a felületminőséget, hogy biztosítsa a következetes termikus érintkezést és az igazítást az időbeli használathoz.

A Semicorex alumínium -oxid rögzítő alaplemezeit különféle alkalmazásokban használják, beleértve ostyakezelőket, robotátviteli rendszereket, vákuumfürdő -szerelvényeket és metrológiai szakaszokat. Ez a megbízhatóság és tartósság különféle igényes folyamathelyzetekben választható termékekké teszi őket, ha a szerszámgyártók robusztus, tartós, alacsony karbantartási kerámia alkatrészeket keresnek. Mérnöki csoportunk az ügyfelekkel partnereinkkel, hogy egyedi megoldásokat biztosítson, amelyeket minden tányérra megadnak, hogy maximalizálják a termelés hatékonyságát egy félvezetőben.

Az alumínium -oxid rögzítő alaplemezek nem csupán mechanikai támogatás; Ez kulcsfontosságú elem a precíziós tervezésben a félvezető iparban. Kiváló mechanikai stabilitással, tisztasággal és konfigurálhatósággal biztosítják a pontos igazítást, a hosszú élettartamot és a megbízható működést a folyamatszerszámok széles skáláján. A nagyteljesítményű rögzítő alaplemezekhez, a mai félvezető gyártók, a Trust Semicorex magas elvárásainak teljesítéséhez.