Alumínium -oxid robotkar

A Semicorex alumínium-oxid robot karja egy nagy teljesítményű kerámia alkatrész, amelyet a félvezető előállításának ostyakezelési és átviteli feladatainak tervezésére terveztek. Ez a robotkar nagyságrendű aluminális kerámia (Al₂o₃ )ből készül, rugalmasságot, pontosságot, megbízhatóságot és tartósságot kínál a tiszta szobákban.

Ami az alumínium -oxid robotkar javára kiemelkedik, az a tulajdonságokalumínium -oxid kerámiamechanikai erő és keménység. Mintalumínium -oxidtisztábbá válik, az alumínium -oxid jobb szerkezeti integritást tart fenn, és ellenállóbbá teszi a mechanikus kopást és a deformációt. Anyagként az alumínium-oxid kiváló választás azoknak a robot alkatrészeknek, amelyeket finom és ismétlődő ostyakezelő feladatokban használnak, azaz amikor egy robotkarnak ugyanazt a funkciót kell elvégeznie, és érintkezni kell az ostyákkal, akkor a robotkar által az ostya számára alkalmazott kisebb torzítások a létesítmény eredményveszteségét fizethetik. A nagy keménység, azaz a merev felületek segíthetnek a csiszoló ellenállásban és a funkcionális életben, azaz a robotkomponens élettartamának/ cseréjének meghosszabbításában.

A mechanikai tartósságán túl az alumínium -oxid robotkar kiváló elektromos szigetelő is. Az ellenállás legfeljebb 10¹⁵ Ω · cm, és a szigetelési szilárdság szobahőmérsékleten 15 kV/mm -ig terjed, sokkal biztonságosabb környezetet biztosítva, különösen akkor, ha a feldolgozó berendezésben csökkenteni kell az elektromos jelek zavarását. Ez fontosvá válik az érzékeny félvezető komponensek védelmekor, amikor az elektrosztatikus kisülés (ESD) károsodásának minimális kockázatával járnak a folyamatok között.

Az alumínium -oxid kerámia kiválóan képes fenntartani a stabilitást a nagyon magas hőmérsékleten. Az olvadási pont körülbelül 2050 ° C -os, és a félvezető termikus feldolgozás során a magas hőmérsékleteket elárasztani és méretbeli pontosság nélkül is ellenáll. A magas hőállóság lehetővé teszi a kar használatát olyan folyamatokban, mint a gyors hő -lágyítás (RTA) vagy a kémiai gőzlerakódás (CVD), ahol a precíziós igazítás és a hőstabilitás kritikus jelentőségű.

Az alumínium -oxid robot karjának egyik jelentős előnye a tehetetlenség. Felülete a legtöbb tisztítószer és a feldolgozó gázok számára a félvezető gyártásában alkalmazott gázok. Ezért továbbra is szennyeződésmentes marad, és nem járul hozzá az ostya felületének szennyeződéséhez. Ez a kémiai inertitás kulcsfontosságú az ultra-tiszta termelési feltételek eléréséhez és az eszköz következetes teljesítményének biztosításához.

Alumínium -oxid kerámiaa félvezető eszközök megfizethető lehetősége. Könnyen elérhető nyersanyagként, és az alumínium -oxid -kerámia megmunkálási folyamata jól érthető és könnyen méretezhető. Ez lehetővé teszi a reprodukálható és következetes toleranciákat a kiváló minőségű alkatrészek versenyképes előállításához. A teljesítmény és a megfizethetőség keveréke miatt az alumínium -oxid robotkar ideálissá teszi az OEM és a félvezető fabokhoz, ahol megbízható automatizálási alkatrészekre van szükség, amelyek nem szakítják meg a bankot.

Összefoglalva: az alumínium -oxid -robot kar magas mechanikai teljesítményt, nagy dielektromos teljesítményt, nagy hőállóságot, nagy kémiai teljesítményt nyújt, mindegyik bizonyított gyárthatósággal, gazdaságos áron. Ezek a teljesítményjellemzők együttesen megbízhatóvá és hatékonyvá teszik a precíziós ostya -kezelési alkalmazásokat a félvezető gyártásban, lehetővé téve a jobb hozamot, potenciálisan csökkentve a szennyeződés kockázatát és javítva a berendezések általános hatékonyságát.