A Semicorex alumínium-oxid robotkarok fontos félvezető berendezések tartozékai, amelyeket a félvezető lapkák vagy elektronikus alkatrészek pontos pozicionálásához és hatékony kezeléséhez használnak. A kiváló mechanikai szilárdság, kopásállóság, hőállóság és korrózióállóság integrálásával a Semicorex alumínium-oxid robotkarok stabilan teljesítenek a magas hőmérsékletet és korrozív atmoszférát tartalmazó összetett félvezetőgyártási környezetben.
A Semicorex alumínium-oxid robotkarokat jellemzően az ostyakezelő robotokba szerelik be, amelyek ostyaátvitelként szolgálnak.vég effektoramely a félvezető lapkák biztonságos és precíz átviteleként működik a kívánt pozícióba. Belső levegőnyílásaikon és gázcsatornáikon keresztül az alumínium-oxid robotkarok állandó negatív nyomást tudnak generálni, hogy szilárdan adszorbeálják a félvezető lapkákat. Ezzel az adszorpciós módszerrel gyengéd érintkezés érhető el az ostya felületével, ami hatékonyan megelőzi a nem kívánt felületi karcolásokat és mechanikai sérüléseket, ezáltal biztosítva a félvezető lapkák teljes körű védelmét.
A Semicorex szigorú minőségellenőrzést hajt végre termékeinél az alapanyagok kiválasztásától kezdve.
Alumínium-oxid robotkarjai precízen nagy tisztaságúaktimföldgranulációs por, amely kiváló tulajdonságokat mutat az alábbiak szerint.
A Semicorex alumínium-oxid robotkarok nagy anyagtisztasággal és sűrű mikroszerkezettel rendelkeznek, ami lehetővé teszi, hogy elkerüljék a fémionok felszabadulását és a mikrorészecskék leválását a működés során, így teljes mértékben megfelelnek a félvezetőgyártás szigorú tisztasági követelményeinek.
Magas elektromos szigetelési teljesítményüknek köszönhetően a Semicorex alumínium-oxid robotkarok képesek minimalizálni a töltésképződést működésük során. Ez a megbízható teljesítmény hatékonyan elkerülheti az alumínium-oxid robotkarok által a félvezető alkatrészekre átvitt nem kívánt töltéseket, és csökkentheti az érzékeny félvezető alkatrészek károsodásának kockázatát.
KülönbözőSiC robotkarok, az alumínium-oxid robotkarok gazdaságos árat kínálnak, miközben megőrzik a stabil teljesítményt. A Semicorex alumínium-oxid robotkarok kiváló mechanikai szilárdságot, kopásállóságot, hőállóságot és korrózióállóságot biztosítanak, így tartósan működnek nagy terhelés, nagyfrekvenciás működés, magas hőmérséklet és erősen korrozív munkakörülmények mellett is. Ez a kiváló tartósság hatékonyan meghosszabbítja az alumínium-oxid robotkarok élettartamát, csökkentve az alkatrészek cseréjének hatékonyságát és költségét.
A Semicorex alumínium-oxid robotkarokat széles körben alkalmazzák a félvezetőgyártási eljárások elején, beleértve a maratást, a vékonyréteg-leválasztást, az ionimplantációt és a CMP-eljárásokat. Vákuumos és nagy tisztaságú üzemi körülmények között stabilan, biztonságosan és pontosan tudják támogatni, átvinni és pozícionálni a félvezető lapkákat és alkatrészeket különböző folyamatkamrákon és berendezéseken keresztül.