Alumínium ostya polírozó lemezek

Semicorex alumínium ostya polírozó lemezekprecíziós megmunkálású alkatrészek, amelyek nagy tisztaságú alumínium-oxidból készülnek izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szinterezéssel és precíziós megmunkálással. Ideálisak precíziós polírozási alkalmazásokhoz, ahol szigorú követelmények vonatkoznak az ultra-nagy felületi pontosságra és hatékonyságra, különösen a félvezető lapkák polírozására, mivel az alumínium-oxid kerámia kivételes fizikai és kémiai tulajdonságokkal rendelkezik.

---

Hosszú élettartam a kiváló kopásállóságért

A nagy kopásállóság elengedhetetlen a nagy pontosságú megmunkálás során használt ostyapolírozó lemezekhez. Az alumínium-oxid kerámia Mohs-keménysége 9 körül van, ami csak a gyémánt és a szilícium-karbid után következik be, ami lehetővé teszi, hogy az ostyapolírozó lemezek ellenálljanak a nagy sebességű, nagy igénybevételű súrlódási körülményeknek a félvezető lapkák polírozása során alacsony kopásveszteséggel. Ezzel a kiváló kopásállósággal az alumínium-oxid ostya polírozó lemezek tartós élettartamot mutatnak, jelentősen csökkentve a berendezések csere miatti leállásának gyakoriságát, valamint csökkentve a karbantartási és csereköltségeket.

Kivételes hőstabilitás és magas hőmérsékletállóság

Alumínium-oxidAz ostyapolírozó lemezek megőrizhetik fizikai tulajdonságaikat és súrlódási teljesítményüket 1000 ℃-os magas hőmérsékletű környezetben, kivételes hőstabilitásuknak és magas hőmérsékleti ellenállásuknak köszönhetően. Alkalmasak a gyakori súrlódás okozta magas hőmérsékletű munkakörülményekre, hatékonyan elkerülik a termikus deformációt és hozzájárulnak az állandó polírozási felület fenntartásához.

Megbízható vegyi korrózióállóság

Az alumínium-oxid ostya polírozó lemezek megbízható vegyi korrózióállósággal rendelkeznek. Ellenállnak a legtöbb savnak és lúgnak, valamint a CMP-eljárásban használt kémiai polírozó oldatoknak. Felületük síkságát nem rontja a kémiai korrózió, ami befolyásolja a félvezető lapkák felületi minőségét.

---

Alkalmazások Semicorex Alumina ostya polírozó lemezekhez

1. Félvezető ostya polírozás

Az alumínium-oxid ostya polírozó lemezeket széles körben használják szilícium, SiC, zafír és különféle ostyahordozók csiszolására, durva polírozására és végső polírozására. Ultra-alacsony érdességüknek és nanoméretű felületi síkságuknak köszönhetően az alumínium-oxid szelet polírozó lemezek ideálisan megfelelnek az olyan fejlett félvezető eljárások szigorú felületminőségi követelményeinek, mint a maratás és a litográfia.

2.Otya soványítása és élek polírozása

Az ostya vékonyítási folyamata során alumínium-oxid ostya polírozó lemezek használhatók az ostya vastagságának pontos szabályozására és a hátoldali anyagok egyenletes eltávolítására. A perempolírozási folyamat során az alumínium-oxid polírozó lemezek az ostya éleinek sorja és hibáinak kiküszöbölésével is segíthetik az optimális lapka élminőség elérését.