A PFA-ból és PTFE-ből készült Semicorex Cassette fogantyúk biztosítják az ostya kazetták biztonságos és hatékony mozgatását a félvezető feldolgozás során. Válassza a Semicorex-ot a nagy teljesítményű, strapabíró fogantyúkhoz, amelyek kiváló vegyszerállóságot és hőstabilitást biztosítanak, optimális ostyavédelmet és gyártási hatékonyságot biztosítva.*
A Semicorex Cassette fogantyúk a félvezető gyártási folyamat döntő tartozékai, lehetővé téve az ostya kazetták biztonságos és hatékony kezelését az ostyafeldolgozás különböző szakaszaiban. Kiváló minőségű anyagokból, például PFA-ból (perfluor-alkoxi-alkán) és PTFE-ből (politetrafluor-etilén) készült, ezeket a kazettás fogantyúkat kifejezetten úgy tervezték, hogy biztosítsák a biztonságot és a teljesítményt olyan környezetben, ahol rendkívüli tisztaság, vegyszerállóság és hőstabilitás szükséges.
A félvezető gyártás során ostya kazettákat használnak az ostyák tartására, miközben azok különböző szakaszokon mennek keresztül, beleértve a maratást, leválasztást, tisztítást és hőkezelést. A kazettafogantyúk a fő interfészként szolgálnak a technikusok és az automatizált rendszerek számára, hogy biztonságosan megfogják és szállítsák ezeket a kazettákat a folyamatok között. Akár manuálisan, akár robotrendszereken keresztül mozgatják a kazettákat, ezek a fogantyúk biztonságos bemerítést tesznek lehetővé kamrákba, kemencékbe vagy vegyi fürdőkbe, biztosítva, hogy az ostyák ne legyenek kitéve sérülésnek vagy szennyeződésnek a kritikus átmenetek során.
Mivel a félvezető feldolgozás gyakran kényes lapkákat és agresszív vegyszereket használ, a kazettafogantyúk minősége és kialakítása kulcsfontosságú szerepet játszik a teljes gyártási munkafolyamat integritásának megőrzésében.
Anyagtulajdonságok: PFA és PTFE
A kazettás fogantyúk anyagának megválasztása kulcsfontosságú az extrém körülmények közötti teljesítményük szempontjából. A PFA és a PTFE egyaránt fluorpolimerek, amelyek kiváló vegyszerállóságukról és termikus stabilitásukról ismertek, így ideálisak félvezető környezetben való használatra.
PFA (perfluor-alkoxi-alkán): Ez az anyag széles körben elismert rugalmasságáról és tartósságáról. A PFA akár 260°C (500°F) hőmérsékletet is elvisel anélkül, hogy lebomlana, így alkalmas magas hőmérsékletű feldolgozó kamrákban való használatra. Tapadásmentes tulajdonságai emellett megakadályozzák, hogy az anyagok a felülethez tapadjanak, tovább csökkentve a szennyeződés kockázatát. Ezenkívül a PFA kémiai tehetetlensége ellenállóvá teszi a félvezetőgyártásban jellemzően használt erős savakkal, lúgokkal és szerves oldószerekkel szemben.
PTFE (politetrafluor-etilén): Alacsony súrlódási együtthatójáról és kiváló reakcióképességéről ismert, a PTFE egy másik kiváló anyagválasztás kazettafogantyúkhoz. A PTFE rendkívül ellenálló a korrózióval szemben, és akár 260°C-os hőmérsékletet is elvisel. A vegyi hatásokkal szembeni nagy ellenálló képessége biztosítja, hogy stabil és hatékony maradjon még maró hatású vegyszerek jelenlétében vagy hosszan tartó merítési időszakok esetén is. A PTFE sima felülete és alacsony súrlódási tulajdonságai szintén hozzájárulnak az ostya kazetták egyszerű és biztonságos kezeléséhez.
Mindkét anyag kiváló tisztasági szintet kínál, ami elengedhetetlen a részecskék szennyeződésének megelőzéséhez a félvezető tisztaterű környezetben.
A Semicorex Cassette fogantyúk, bár a félvezető gyártási folyamat kis részét képezik, kritikus szerepet játszanak az ostya kazetták biztonságos, hatékony és szennyeződésmentes kezelésében. A nagy teljesítményű anyagokból, például PFA-ból és PTFE-ből készült fogantyúk kivételes vegyszerállóságot, hőstabilitást és tartósságot kínálnak. A kiváló minőségű kazettás fogantyúk kiválasztásával a félvezetőgyártók optimalizálhatják munkafolyamataikat, csökkenthetik a szennyeződés kockázatát, valamint biztosíthatják a kezelők és a berendezések biztonságát.