Kerámia elektrosztatikus tokmány

Az alumínium-oxid kerámiából készült Semicorex Ceramic Elektrosztatikus tokmány elengedhetetlen a félvezető lapkák biztonságos rögzítéséhez a különböző gyártási folyamatok során. Az anyagtulajdonságok egyedülálló kombinációjával ez a kerámia elektrosztatikus tokmány döntő szerepet játszik a pontosság, a megbízhatóság és a hatékonyság biztosításában a félvezető eszközök gyártása során.

A kerámia elektrosztatikus tokmány középpontjában az alumínium-oxid kerámia áll, amely kivételes fizikai és kémiai tulajdonságai miatt nagyra értékelik az iparban. Az alumínium-oxid (Al2O3) kiemelkedő elektromos szigetelési képességeiről ismert, amelyek kritikusak az ESC-vel összefüggésben. A félvezető feldolgozás során a lapkákat szilárdan kell tartani anélkül, hogy bármilyen elektromos interferencia lépne fel, amely befolyásolhatja a gyártandó kényes áramkört. Az alumínium-oxid kerámia nagy dielektromos szilárdsága biztosítja, hogy a tokmány a szükséges nagy feszültségen működjön az elektromos kisülés veszélye nélkül, így stabil és megbízható szorítóerőt biztosít, amely elengedhetetlen a lapka helyzetének és integritásának megőrzéséhez.

A kerámia elektrosztatikus tokmány úgy működik, hogy elektrosztatikus mezőt hoz létre az alumínium-oxid kerámiába ágyazott elektródákon keresztül. Feszültség alkalmazásakor a keletkező mező erős szorítóerőt hoz létre, amely biztonságosan tartja az ostyát a tokmány felületén. Ez a nem mechanikus rögzítési módszer különösen előnyös a félvezető feldolgozásnál, mert minimálisra csökkenti a fizikai érintkezést, és csökkenti a szelet szennyeződésének és mechanikai sérülésének kockázatát, ami különösen kritikus a fejlett csomópontok esetében, ahol a legkisebb hiba is jelentős hozamcsökkenést eredményezhet.

A kerámia elektrosztatikus tokmány egyik kiemelkedő tulajdonsága a hőteljesítmény. A félvezető eljárások gyakran magas hőmérsékletet foglalnak magukban, ami hőterhelést okozhat az ostyában. Az alumínium-oxid kerámiát kiváló hővezető képessége miatt értékelik, amely lehetővé teszi a kerámia elektrosztatikus tokmánynak a feldolgozás során keletkező hő hatékony elvezetését. Ez a hőkezelési képesség elengedhetetlen az egyenletes hőmérséklet-eloszlás fenntartásához az ostyában, ezáltal csökkentve a termikus gradienseket, amelyek vetemedéshez vagy mikrorepedéshez vezethetnek. Az alumínium-oxid kerámia nyújtotta stabilitás biztosítja, hogy a kritikus folyamatok, mint például a fotolitográfia és a maratás precízen történjenek, megőrizve az ostya integritását a gyártási ciklus során.

Ezenkívül az alumínium-oxid kerámia mechanikai robusztussága jelentősen hozzájárul az ESC tartósságához és hosszú élettartamához. A félvezető gyártás során a kerámia elektrosztatikus tokmányt ismételt szeletbehelyezési, feldolgozási és eltávolítási ciklusoknak vetik alá. Az alumínium-oxid kopásállósága biztosítja, hogy a tokmány jelentős károsodás nélkül bírja ezeket a ciklusokat. Ez a kopásállóság nemcsak meghosszabbítja a tokmány élettartamát, hanem csökkenti a részecskék képződésének valószínűségét is, amelyek egyébként szennyezhetik az ostyát és ronthatják az eszköz minőségét. Az anyag keménysége azt is jelenti, hogy a tokmány felülete sima és egyenletes marad, ami kritikus tényező az egyenletes szorítóerő fenntartásában és az ostya sérülésének elkerülésében.