Kerámia elektrosztatikus tokmányok

A Semicorex kerámia elektrosztatikus tokmányok nagy teljesítményű alumínium-oxidból és alumínium-nitrid kerámiából készült precíziós elektrosztatikus adszorpciós alkatrészek, amelyek az elektrosztatikus adszorpció elvét alkalmazzák az ostyák befogására és rögzítésére. Széles körben használják a félvezetőgyártás területén. A Semicorex fejlett technológiával, kiváló minőségű anyagokkal és költséghatékony termékekkel rendelkezik. Bízunk benne, hogy megbízható beszállító partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

Kerámia elektrosztatikus tokmányokprecíziós alkatrészek, amelyek az elektródák és lapkák között generált elektrosztatikus mezőt használják fel a lapkák rögzítésére és rögzítésére. Széles körben alkalmazzák olyan területeken, mint a félvezetők, síkképernyős kijelzők és optika, és olyan csúcskategóriás berendezések alapvető alkotóelemei, mint a PVD-eszközök, maratógépek és ionimplantátorok.

A hagyományos mechanikus és vákuum tokmányokhoz képest a kerámia elektrosztatikus tokmányok számos előnnyel rendelkeznek a félvezetőgyártás területén. Ez a kerámia elektrosztatikus tokmány statikus elektromosságot használ az ostyák lelapulásához és egyenletes megtartásához a felületén. Ez az egyenletes adszorpciós erő viszonylag laposan tudja tartani az adszorbeált tárgyat, elkerülveostyavetemedés vagy deformáció, amelyet a hagyományos mechanikus tokmányok okozhatnak, illvákuum tokmányokés annak biztosítása, hogy az ostya megőrizze a nagy pontosságú félvezető eljárásokhoz megfelelő feldolgozási pontosságot.

Egyes kerámia elektrosztatikus tokmányok beépített fűtőfunkciókkal rendelkeznek, amelyek pontosan szabályozzák az ostya hőmérsékletét visszafúvó gázon vagy belső fűtőelektródákon keresztül, alkalmazkodnak a különböző folyamatok szigorú hőmérsékleti követelményeihez, és javítják a feldolgozási stabilitást.

A mechanikus tokmányokkal ellentétben a kerámia elektrosztatikus tokmányok csökkentik a mechanikus mozgó alkatrészeket, csökkentik a szemcsés szennyeződések hatását az ostya minőségére, hatékonyan védik az ostya felületének tisztaságát és javítják a termék kihozatalát.

A kerámia elektrosztatikus tokmányok széles körű kompatibilitást kínálnak. Különböző méretű és anyagú ostyák befogadására alkalmasak, beleértve a szilíciumot, a gallium-arzenidet és a szilícium-karbidot, és kielégítik a különböző félvezetőgyártási igényeket.

Stabilan működhetnek nagy vákuumú környezetben, mint például ionimplantáció és CVD, leküzdve a hagyományos vákuum tokmányok korlátait, amelyek vákuum környezetben nem képesek elnyelni az ostyákat, és tökéletesen megfelelnek az ionimplantáció, a kémiai gőzleválasztás (CVD) és más félvezetőgyártási folyamatok követelményeinek.