Tégelytartó tálca

A magas hőmérsékletű félvezetőgyártásban a stabilitás és a pontosság kritikus fontosságú az állandó kristályminőség biztosításához. A Semicorex Crucible Support Tray létfontosságú, de gyakran figyelmen kívül hagyott szerepet játszik a kristálynövekedési folyamat integritásának megőrzésében, mivel megbízható alapot biztosít szélsőséges hő- és mechanikai körülmények között.

A Crucible Support Tray, más néven aszén/szén (C/C)tégelytartó, kifejezetten a kvarc vagy grafit tégelyek támogatására lett kialakítva az egykristályos szilícium növekedése során. A hőmező alján elhelyezett alkatrésznek ki kell bírnia a hosszan tartó magas hőmérsékletnek való kitettséget, miközben megőrzi a szerkezeti integritást és a méretstabilitást. Robusztus kialakítása biztosítja, hogy a tégely a folyamat során biztonságosan elhelyezve maradjon, minimalizálva a vibrációt, a deformációt vagy az eltolódást, ami negatívan befolyásolhatja a kristály minőségét.

A C/C támasztótálca szerepe

A monokristályos szilícium növekedése során a hőmérséklet gyakran meghaladja az 1400 °C-ot. A hagyományos grafitanyagok, bár hasznosak, gyakran kihívásokkal szembesülnek az élettartam és az olvadt szilícium nehéz súlya alatti deformáció tekintetében. C/C kompozit tégelytámasztó tálcánk megoldja ezeket a fájdalompontokat.

A nagy szilárdságú szénszál-erősítésű mátrix felhasználásával ez a tálca "közel nulla" hőtágulási profilt és kivételes teherbíró képességet kínál. Interfészként szolgál a tégely és a forgó tengely között, tökéletesen vízszintes síkot tartva, hogy megakadályozza az olvadék turbulenciáját és a kristályhibákat.

Műszaki adatok és kiváló anyagok

Sűrűség: ≥ 1,3 g/cm³

Hajlítási szilárdság: ≥ 110 MPa

Hőtágulási együttható (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Nyomószilárdság: ≥ 160 MPa