Elektrosztatikus tokmány

A nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia felhasználásával a Semicorex elektrosztatikus tokmány csúcsteljesítményt nyújt olyan beállításoknál, amelyek a pontosságot, a stabilitást és a tisztaságot helyezik előtérbe. Az alumínium-oxid, más néven alumínium-oxid (Al2O3), egy kerámiaanyag, amely kivételes elektromos szigetelő tulajdonságairól, magas hővezető képességéről és kiemelkedő mechanikai szilárdságáról ismert. Ezek a tulajdonságok ideális anyaggá teszik elektrosztatikus tokmány készítéséhez, amelyet úgy terveztek, hogy ellenálljon a félvezető feldolgozás nehéz körülményeinek. Az alumínium-oxid kerámia ESC-t úgy tervezték, hogy ellenálljon a magas hőmérsékletnek, a korrozív környezetnek és a mechanikai igénybevételnek az ostyák kezelése és feldolgozása során, ami kritikus szerepet játszik a félvezető eszközök hozamának és minőségének biztosításában.

Az elektrosztatikus tokmány alapelve az elektrosztatikus erő, amelyet az ostya biztonságos rögzítésére használnak. Ezt az erőt a kerámiaanyagba ágyazott elektródák feszültségének alkalmazása hozza létre. Az elektrosztatikus mező és az ostya felületén indukált töltések közötti kölcsönhatás erős szorítóerőt hoz létre, amely az ostyát a tokmány felületéhez tartja. Az alumínium-oxid kerámia ESC kialakítása biztosítja, hogy ez a szorítóerő egyenletesen oszlik el az ostyán, minimálisra csökkentve a feldolgozás során bekövetkező elcsúszás vagy sérülés kockázatát.

Az elektrosztatikus tokmány konstrukciójában az alumínium-oxid kerámia használatának egyik legfontosabb előnye a kivételes elektromos szigetelő tulajdonságai. Az alumínium-oxid nagy dielektromos szilárdsága lehetővé teszi nagy feszültségek alkalmazását az elektromos meghibásodás veszélye nélkül, ami elengedhetetlen az elektrosztatikus mező integritásának megőrzéséhez. Ez különösen fontos olyan eljárásoknál, mint például a plazmamarás vagy a kémiai gőzleválasztás, ahol az ostya erősen reaktív környezetnek van kitéve, és a szorítóerő bármilyen változása az ostya meghibásodásához vagy károsodásához vezethet.

Az elektromos tulajdonságai mellett az alumínium-oxid kerámia kiváló hővezető képességgel rendelkezik, ami elengedhetetlen a félvezető feldolgozás során keletkező hő kezeléséhez. Az elektrosztatikus tokmány azon képessége, hogy hatékonyan elvezeti a hőt, segít fenntartani a stabil hőmérsékletet az ostyában, csökkentve a termikus gradienseket, amelyek vetemedéshez vagy más termikus igénybevételhez vezethetnek. Ez a termikus stabilitás kritikus fontosságú az olyan eljárások pontosságának és megismételhetőségének biztosításában, mint például a fotolitográfia, ahol még a kis hőmérsékleti eltérések is befolyásolhatják az eredményt.