Epi-SiC receptor

A Semicorex Epi-SiC Susceptor a magas hőmérsékleti kitartás, a kémiai tehetetlenség és a kiváló termikus diffúzió összefolyása, a rugalmasság és a hatékonyság mintaképe az epitaxiális növekedési törekvések szinonimájaként fellépő intenzív körülmények között. A SiC bevonat alkalmazása jelentősen növeli az Epi-SiC Susceptor termikus tulajdonságait. Ez a javítás elősegíti az egyenletes hőeloszlást, amely elengedhetetlen a lapkák melegítéséhez, ami kulcsfontosságú a konzisztens, jó minőségű epitaxiális rétegek félvezető lapkák közötti lerakódásában.

Az Epi-SiC Susceptor az ostya epitaxiális folyamatok szigorú követelményeinek kielégítésére készült, és támogatja az ostyák zökkenőmentes szállítását a kemence környezetében. Robusztus kialakítása védőbástya az ostya elmozdulása vagy kompromittálása ellen, ezáltal csökkenti a sérülések előfordulását az epitaxiális réteg fejlődésének kritikus szakaszaiban. Ezenkívül az Epi-SiC Susceptor védőgátként működik az alatta lévő grafit szubsztrátum számára, megvédve azt az epitaxiális folyamatok által kiváltott kémiai kölcsönhatásoktól és kopástól.

A rugalmas grafit mag és a védő SiC bevonat egyesítése nemcsak az Epi-SiC Susceptor teljesítménymutatóit erősíti, hanem jelentősen meghosszabbítja az élettartamát is. Az eredmény egy olyan befektetés, amely tartós működési megtakarítások formájában megtérül a félvezetőgyártó vállalatok számára, és az Epi-SiC Susceptort megfontolt választásnak tekinti azok számára, akik optimalizálni szeretnék gyártási műveleteiket.