ESC Chuck

A Semicorex ESC tokmány elektrosztatikus erőket használ az ostya helyzetének precíz szabályozására, így nagy pontosságot és ismételhetőséget biztosít a félvezető gyártási környezetekben. Az ESC tokmány kialakítása, robusztus anyagválasztásával és testreszabható méreteivel párosulva sokoldalú és nélkülözhetetlen eszközzé teszi az olyan eljárásokban, mint a maratás, lerakás és ionimplantáció.

Az ESC tokmány úgy működik, hogy nagyfeszültségű elektrosztatikus mezőt alkalmaz a tokmány elektródái és az ostya között, vonzó erőt hozva létre, amely a lapkát a helyén tartja. A jellemzően szilíciumból vagy szilícium-karbidból készült ostyát ez az erő rögzíti, ami lehetővé teszi a precíz műveleteket nagyvákuumú környezetben. Ez a rendszer szükségtelenné teszi a mechanikus rögzítést vagy a vákuumbefogást, ami szennyeződéseket juttathat be, vagy eltorzíthatja az ostyát. Az ESC tokmány használatával a gyártók tisztább, stabilabb környezetet érhetnek el a kényes gyártási folyamatokhoz, ami magasabb hozamot és egyenletesebb eredményeket eredményez.

Az ESC technológia egyik legfontosabb előnye, hogy képes megőrizni a szilárd fogást az ostyán, miközben az erőt egyenletesen elosztja a felületén. Ez biztosítja, hogy az ostya lapos és stabil maradjon, ami kulcsfontosságú az egyenletes maratáshoz vagy leválasztáshoz, különösen olyan eljárásokban, ahol szubmikronos pontosságra van szükség. Az ESC tokmány testreszabható méretei lehetővé teszik különböző méretű lapkák elhelyezését, a szabványos 200 mm-es és 300 mm-es ostyáktól a speciális, nem szabványos méretekig, amelyeket kutatás-fejlesztésben vagy niche-félvezető eszközök gyártásában használnak.

Az ESC tokmány felépítéséhez használt anyagokat gondosan választották ki, hogy biztosítsák a kompatibilitást a félvezető feldolgozás során jellemzően zord környezettel. Kiváló elektromos szigetelő tulajdonságaik, hőstabilitásuk és plazmakorrózióval szembeni ellenállásuk miatt nagy tisztaságú kerámiát használnak. Ezek a tulajdonságok lehetővé teszik, hogy a tokmány hatékonyan működjön magas hőmérsékleten és nagy vákuumban is, biztosítva a tartósságot és megbízhatóságot, amely a hosszú távú használathoz szükséges tisztatéri környezetben.

A testreszabhatóság az ESC tokmányok másik jelentős előnye. A félvezető-gyártási folyamat speciális követelményeitől függően a tokmány méretei, elektróda-konfigurációi és anyagösszetételei testreszabhatók, hogy megfeleljenek a feldolgozott berendezés és lapkák egyedi igényeinek. Legyen szó plazmamaratról, kémiai gőzleválasztásról (CVD) vagy fizikai gőzleválasztásról (PVD), az ESC tokmány úgy tervezhető, hogy optimalizálja a teljesítményt és megőrizze az ostya integritását a feldolgozás során.