Olvasztott kvarc talapzat

A félvezető gyártás során az olvasztott kvarc talapzat szolgál tartószerkezetként a kvarchajó számára, amely az ostyákat tartja. Az állandó hőmérséklet fenntartásával elősegíti az egyenletes vékonyréteg-lerakódást, ami kritikus tényező a félvezető eszközök teljesítménye és megbízhatósága szempontjából. A talapzat biztosítja, hogy a hő- és fényeloszlás egyenletes legyen a folyamatkamrán belül, ezáltal javítva a leválasztási folyamat általános minőségét.

Az olvasztott kvarc anyag előnyei

1.High Temperature Resistance

Az olvasztott kvarc talapzat körülbelül 1730°C-os lágyulásponttal büszkélkedhet, így 1100°C és 1250°C közötti hőmérsékleten is kibírja a hosszan tartó használatot. Sőt, akár 1450°C-os hőmérsékletnek is kibírja rövid ideig.

2. Korrózióállóság

Az olvasztott kvarc talapzat kémiailag inert a legtöbb savval szemben, kivéve a hidrogén-fluoridot. Savállósága 30-szor felülmúlja a kerámiáét és 150-szer a rozsdamentes acélét. Magasabb hőmérsékleten semmilyen más anyag nem éri el az olvasztott kvarc kémiai stabilitását, így ideális választás a kemény vegyi környezetekhez.

3. Hőstabilitás

A Fused Quartz Talapzat egyik kiemelkedő tulajdonsága a minimális hőtágulási együttható. Ez a tulajdonság lehetővé teszi, hogy repedés nélkül ellenálljon a súlyos hőmérsékleti változásoknak. Például gyorsan felmelegíthető 1100 °C-ra, majd szobahőmérsékleten vízbe meríthető anélkül, hogy károsodást szenvedne – ez a nagy igénybevételű gyártási folyamatok alapvető jellemzője.

Gyártási folyamat

Az olvasztott kvarc talapzat gyártási folyamatát aprólékosan ellenőrzik a legmagasabb minőségi szabványok biztosítása érdekében. A talapzatokat hőformázási és hegesztési eljárásokkal állítják elő 10 000 vagy magasabb osztályú tisztatéri környezetben. Utólagos tisztítás ultratiszta vízzel (18 MΩ)továbbá biztosítja a termék tisztaságát és teljesítményét. Minden olvasztott kvarc talapzat szigorú ellenőrzésen, tisztításon és csomagoláson esik át egy 1000-es vagy magasabb osztályú tisztatérben, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek.

Nagy tisztaságú átlátszatlan kvarc anyag

A hő és fény hatékony blokkolása érdekében a Fused Quartz Talapzat nagy tisztaságú, átlátszatlan kvarcanyagot használ. Ennek az anyagnak az egyedülálló tulajdonságai javítják a talapzat azon képességét, hogy stabil és egyenletes hőmérsékletet tartsanak fenn a folyamatkamrában, ezáltal biztosítva a vékonyréteg-lerakódás egyenletes minőségét az ostyákon.

Alkalmazások széles skálája

Az olvasztott kvarc talapzat kivételes tulajdonságai miatt a félvezetőipar számos alkalmazására alkalmas. Az ALD folyamatokban támogatja a vékonyréteg-növekedés atomi szintű pontos szabályozását, ami elengedhetetlen a fejlett félvezető eszközök gyártásához. Az LPCVD folyamatok során a talapzat hőstabilitása és fényzáró képessége hozzájárul az egyenletes filmréteg-lerakáshoz, javítva az eszköz teljesítményét és hozamát.

A diffúziós folyamatokban az olvadt kvarc talapzat magas hőmérséklettel szembeni ellenállása és kémiai tehetetlensége biztosítja a félvezető anyagok megbízható és következetes adalékolását. Ezek a folyamatok kritikusak a félvezető eszközök elektromos tulajdonságainak meghatározásához, és a kiváló minőségű anyagok, például az olvasztott kvarc használata elengedhetetlen az optimális eredmények eléréséhez.