Üveges szénbevonat filc

A Semicorex üveges szénbevonatú filc belső szigetelő rétegként működik a szilícium -karbid epitaxiális reaktorokban. Ez egy nagyteljesítményű szigetelő anyag, amelyet fejlett termikus környezetekhez terveztek. Ez a termék legyőzi a tipikus, félvezető magas hőmérsékletű gyártási kihívásokat azáltal, hogy kiváló megoldásokat kínál a könnyű és kiváló hőszigetelő tulajdonságai miattgrafit filc, a felszíni integritással és a kémiai inertitással, amelyet egy üveges szénbevonat ad.

Az alapanyag nagy tisztaságúgrafit filcAz alacsony hővezetőképességű magas hőmérsékleti stabilitást és könnyű súlyt választotta. A normál grafit filcben általában felszíni szálas leereszkedés és részecské termelése van megemelkedett hőmérsékleten, ami szennyezi a folyamat környezetét érzékeny epitaxiális rendszerekben. Ennek a kérdésnek a enyhítése érdekében a grafit filc felületét egy üveges szénréteggel egyenletesen bevonják-egy sűrű, nem porózus szénformát, amely kémiai tehetetlenségéről, alacsony gázáteresztőképességéről és kivételes hőstabilitásáról ismert.

Az üveges szén egy nem grafitizált szén, amely ötvözi az üveg és a kerámia tulajdonságait. A kristályos grafitnal ellentétben ez egy amorf, közel 100% SP2 hibridizált szén anyag, amelyet a polimerizált szerves prekurzorok, például fenolgyant, furfuril-alkohol gyanták stb. Magas hőmérsékleti szinterelésével képeznek egy inert gáz atmoszférában. Mivel az egész fekete és az üveghez hasonló sima felülete van, üveges szénnek nevezzük.

Az üveges szénbevonat kiküszöböli a kemence részecskéinek előállítását, lezárt felületi pórusokat biztosíthat, kiválóan megkülönböztető tulajdonságokkal rendelkezik és csökkentheti a permeabilitást, így ez az anyag nagyon alkalmas a félvezető ipar folyamatos öntőformákra és termékeire. Ez az anyag széles körű alkalmazást tartalmaz a félvezető iparban, különösen olyan grafit alkatrészekben, mint például az egykristályos szilícium -húzó berendezések alkatrészei, az epitaxiális növekedési alkatrészek, a folyamatos öntőformák, az üveg tömítőszerkelések stb.

Az üveges szén magas hőmérséklet -ellenállással rendelkezik, akár 3000 ° C -ig, inert gázban vagy vákuumban, és az összes többi kerámia és fémes magas hőmérsékletű anyaggal ellentétben az üveges szén erőssége növekszik, ha a hőmérséklet 2700 ezerre növekszik, és nem válik törékenyé, és rendkívül magas hőhatású ellenállású, így a rövid fűtési és hűtési idő nem jelent problémát. Ezen túlmenően az üveges szén alacsony tömegű, alacsony hőelnyeléssel és alacsony termikus tágulással rendelkezik, tehát szinte minden magas hőmérsékletű alkalmazáshoz alkalmas.

Az üveges szénbevonat döntő szerepet játszik a grafit filc felületének pórusainak lezárásában, jelentősen csökkentve a részecskék és a szénpor felszabadulását a működés közben. Ez különösen kritikus a SIC epitaxiális növekedési folyamatokban, ahol még a minimális szennyeződés is veszélyeztetheti az ostya minőségét és az eszközök teljesítményét. A filc porózus szerkezetének sima, kemény, üveges szénhéjjal történő beillesztésével a bevonat tiszta és stabil termikus környezetet biztosít a reakciókamrán belül.

Az üveges szénbevonat filcének legfontosabb előnyei a következők:

Csökkentő részecskeszeképzés: A sűrű bevonat hatékonyan rögzíti a laza szálakat és részecskéket, megakadályozva az ostyák és a reaktor komponensek szennyeződését.

Nagy hőstabilitás: Mind a grafit filc, mind az üveges szén ellenáll a 2000 ° C-ot meghaladó hőmérsékleten inert vagy vákuumban, így a termék ideális a magas hőmérsékletű SIC folyamatokhoz.

Kémiai tehetetlenség: Az üveges szénfelület a legtöbb savval és a korrozív gázokkal szemben rezisztens, kibővítve a szigetelő réteg működési élettartamát durva körülmények között.

Javított folyamatkonzisztencia: A minimalizált részecskék generálása hozzájárul egy stabilabb és megismételhetőbb epitaxiális növekedési környezethez, amely elengedhetetlen a kiváló minőségű SIC ostyák előállításához.

Az üveges szénbevonat alkalmazása elsősorban a SIC epitaxiális növekedési kemencékre terjed ki, ahol a forró zónában termikus szigetelő rétegként használják. A terméket általában bélés anyagként telepítik a felső vagy az alsó szigetelő halomban, ahol mind a hővédelem, mind a tisztaságbiztosítást biztosítja.