Grafit elektróda

A Semicorex Graphite Electrode egy nagy tisztaságú, precíziós gyártású grafit alkatrész, amelyet félvezető hőtechnikai alkalmazásokhoz használnak, ahol az elektromos vezetőképesség, a hőstabilitás és a méretpontosság a legfontosabb. Valójában az ilyen típusú elektródákat magas hőmérsékletű kemencékben, epitaxiás reaktorokban és termikus feldolgozó kamrákban használják, elősegítve a stabil áramvezetést, a hőátadást és a stabilitást agresszív hőmérsékleti és légköri körülmények között. A Semicorex Graphite Electrodes rendkívüli tisztasága, a szilárd szerkezet egységessége és magas mechanikai tulajdonságai miatt megbízható hőteljesítményt nyújtanak fűtőelemként az igényes félvezető alkalmazásokban.

A grafit elektródák kiváló minőségű finomszemcsés grafitanyagból készülnek, mindegyik fejlett extrudálási, magas hőmérsékletű karbonizálási és grafitosítási eljárással készül. A grafit mikroszerkezetet megközelítőleg állandó elektromos ellenállásra, magas hővezető képességre és mechanikai stabilitásra tervezték. A végtermék egy nagy tisztaságú hővezető, amely fenntartja a fizikai állapotot és az egyenletes áramelosztást nagy teljesítményű környezetben, valamint gyors hőmérséklet-ingadozásokat.

Ultra teljesítmény nálunkgrafit

A grafitunk garantálja a kiváló teljesítmény egyenletességét. Először is, a szénesítési folyamat során kemencéink mindössze 115 köbméteresek. Technikai csapatunk felügyeli a grafittermékek hőmérsékleti mezőjét az egyes kemencék különböző területein. A kezdeti alacsony hőmérsékleti szakaszban (0-200°C) ±10°C-on, magas hőmérsékleten (600°C felett) ±1°C-on belül szabályozzuk a hőmérsékletet. Nemcsak a különböző grafitrészecskék közötti hőmérsékletmezőt figyeljük, hanem az egyes grafitdarabok felületét és belső hőmérsékletét is, ±3°C-on belül szabályozva. Minden karbonizáló kemencében 8 hőmérsékleti pontot figyelünk.

Másodszor, a grafitizálási folyamat során, egy 500 kg-os tételt példának véve, 8 hőmérsékleti pontot is figyelünk. Grafitizálás után véletlenszerűen mintát veszünk és destruktív módon tesztelünk 24 pontot az X, Y és Z tengely mentén, hogy biztosítsuk az egyenletességet. A legtöbb iparágban működő cég csak az X-tengelyt, vagy legfeljebb az XY-tengelyt teszteli, a tipikus gyártók csak 6-8, a jobbak pedig 12 pontot tesztelnek. 24 pontot tesztelünk.

A félvezető hőmezőben a grafitelektród a fűtőegység kritikus része, amely elektromos áramot irányít a fűtőzónába, és lehetővé teszi a hőmérséklet szabályozott eloszlását egy adott folyamaton, például oxidáción, diffúzión, LPCVD-n vagy epitaxián. A grafitelektródának megbízható működési szerepet kell betöltenie 2000 °C-ot meghaladó hőmérsékleten, és ezt úgy kell tennie, hogy ellenálljon az oxidációnak, a vetemedésnek vagy a fűtési hely szennyeződésének.

A Semicorex Graphite Elektródák kiemelkedő elektromos vezetőképességgel rendelkeznek, amely lehetővé teszi a hatékony teljesítmény-leadást minimális veszteséggel, és kiváló hővezető képességgel rendelkeznek, lehetővé téve a gyors egyenletes hőátadást a kemencében. Az alacsony hőtágulás és a nagy mechanikai szilárdság kombinációja csökkenti a deformációt és a repedéseket a hőciklus során, így stabil viselkedést biztosít a hosszú élettartam során. Minden elektródát szigorú mérettűrésekre és finom felületkezelésre dolgoztak fel, hogy biztosítsák az állandó érintkezést és az elhanyagolható elektromos ellenállást az érintkezési felületen.

A félvezető folyamatok speciális követelményeit szem előtt tartva a Semicorex egyedi elektródaterveket tud tervezni, hogy illeszkedjen bármilyen kemencekonfigurációhoz és teljesítményspecifikációhoz. Különböző átmérők, hosszok, csatlakozási típusok vagy felületi kidolgozások állnak rendelkezésre. Szükség esetén bevonóanyagok, például SiC vagy pirolitikus szén alkalmazható az oxidációval szembeni ellenállás és az élettartam fenntartására magas oxigéntartalmú vagy reaktív gázos környezetben.

A nagy tisztaságú agrafit anyaghihetetlenül alacsony szintű fémszennyeződéseket (és gáznemű szennyeződéseket) biztosít, gyakran több mint 99,999% széntartalmú. Az ilyen alacsony szennyeződések segítenek elkerülni a félvezető lapkák szennyeződését a hőkezelés során. A jelentős megmunkálási mélységgel és a polírozott felületkezeléssel kombinálva a Semicorex Graphite Electrodes megfelelnek a legmodernebb lapkagyártási technológiák mechanikai és kémiai stabilitásának.

Akár diffúziós kemencékben, akár epitaxiális reaktorokban, akár magas hőmérsékletű feldolgozó berendezésekben használják, a Semicorex Graphite Electrode páratlan teljesítményt nyújt a legigényesebb termikus környezetben. A nagy tisztaság, a precíz geometria és a fejlett anyagfeldolgozás kombinálásával a Semicorex olyan elektródamegoldást kínál, amely stabil áramvezetést, egyenletes fűtést és hosszú távú működési megbízhatóságot biztosít, ami elengedhetetlen a következő generációs félvezetőgyártáshoz.