A Semicorex Graphite Heater For Hot Zone készülékeket úgy tervezték, hogy megbízhatóan működjenek magas hőmérsékletű kemencékben, és úgy tervezték, hogy ellenálljanak az olyan folyamatokkal járó kihívásoknak, mint a kémiai gőzleválasztás (CVD), az epitaxia és a magas hőmérsékletű izzítás. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű grafitfűtő forró zónához való gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Homogén hőmérséklet-eloszlás:A Graphite Heater For Hot Zone egyforma fűtési jellemzőiről ismert, amelyeket az aprólékos anyagfeldolgozás és a precíziós megmunkálás kombinációjával érnek el. Ez a homogenitás egyenletes hőmérsékleti profilt biztosít a teljes fűtőfelületen, minimálisra csökkentve a termikus gradienseket, amelyek egyenetlen szeletfeldolgozáshoz, csökkentett hozamhoz és inkonzisztens eszközteljesítményhez vezethetnek.
Kivételes korrózióállóság:A Graphite Heater For Hot Zone figyelemre méltó ellenállást mutat számos korrozív gázzal és vegyi anyaggal szemben, amelyek gyakran előfordulnak a magas hőmérsékletű félvezető-feldolgozás során. Ez a benne rejlő tehetetlenség biztosítja a fűtőberendezés hosszú távú stabilitását és teljesítményét, minimalizálja a szennyeződés kockázatát és meghosszabbítja a működési élettartamot.
Kiváló oxidációs ellenállás:A hagyományos grafittal ellentétben a Graphite Heater For Hot Zone még magasabb hőmérsékleten is kiválóan ellenáll az oxidációnak. Ez a jellemző kulcsfontosságú a fűtőelem integritásának megőrzéséhez és a részecskék szennyeződésének megakadályozásához a feldolgozó kamrában.
Ultra-magas kémiai tisztaságú:A Graphite Heater For Hot Zone feldolgozása rendkívül magas tisztasági szintet ér el, minimálisra csökkentve annak kockázatát, hogy nem kívánt szennyeződések kerüljenek a félvezető-feldolgozási környezetbe. Ez a kivételes tisztaság elengedhetetlen a kényes félvezető anyagok integritásának megőrzéséhez és a gyártott eszközök kívánt elektromos és optikai tulajdonságainak biztosításához.
Nagy mechanikai szilárdság és stabilitás:A Graphite Heater For Hot Zone kiváló mechanikai szilárdsággal és méretstabilitással rendelkezik megemelt hőmérsékleten, lehetővé téve olyan robusztus fűtőelemek gyártását, amelyek képesek ellenállni a magas hőmérsékletű működés megterhelésének, beleértve a hőciklust és a mechanikai igénybevételt.