Vízszintes kvarc ostyahajók

Vízszintes kvarc ostyahajókA félvezető lapkákat általában vízszintesen tartják a hőkezelő berendezések kemencecsövéiben, külső fűtőberendezésekkel felmelegítve. Széles körben használják az igényes, magas hőmérsékletű korrozív félvezető hőkezelési eljárásokban, mint például a termikus oxidáció, a magas hőmérsékletű diffúzió, az izzítás és a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD).

A Semicorex vízszintes kvarc ostyahajók funkciói

1.Stabil tartás és rögzítés

A Semicorex vízszintes kvarc ostyahajók kiváló teherbíró képességgel rendelkeznek, és folyamatosan stabil támogatást nyújtanak több félvezető lapkához. Az optimalizált külső kialakítás és a precíz nyílásszerkezet pedig mindezt biztosítjaostyatökéletesen illeszkedik és szilárdan rögzítve van a vízszintes kvarc ostyahajókon, ami jelentősen csökkenti a szállítási és gyártási folyamatok során a rázás, elmozdulás és billenés által okozott karcolásokat és ütközéseket.

2. Folyamatok egységesítésének segítése

A vízszintes kvarc ostyahajók egyenlő távolságú résszerkezete lehetővé teszi a félvezető lapkák rendezett elhelyezését, így stabil és egyenletes gázáramlási teret hoz létre a magas hőmérsékletű kemencékben. A szerkezeti kialakítás egyenletes gázkontaktust és reakciósebességet biztosít minden lapkafelületen, ezáltal hatékonyan csökkenti az egyenetlen melegítés és a differenciális gázkontaktus által okozott különféle hibákat, mint például a lapka tökéletlen oxidációja, egyenetlen vékonyréteg-lerakódás és adalékanyag-koncentráció eltérése.

3.Hosszú élettartam

A kvarc anyag kiváló magas hőmérsékleti ellenállásának köszönhetően a Semicorex vízszintes kvarc ostyahajók hosszú ideig ellenállnak az 1100-1200 ℃ magas hőmérsékletnek deformáció vagy olvadás nélkül.Kvarckémiailag közömbös a félvezető folyamatokban általánosan használt gázokkal, például oxigénnel, nitrogénnel és hidrogén-kloriddal szemben. Ez a kivételes kémiai tehetetlenség minimálisra csökkentheti a technológiai gázok által okozott korrózió kockázatát, nagymértékben meghosszabbítva az élettartamot és csökkentve a berendezés cseréjének idejét és költségeit.