Belső vezetőcső

A Semicorex belső vezetőcső egy precíziós tervezésűszén/szén (C/C) komponensfejlett, magas hőmérsékletű termikus terepi alkalmazásokhoz tervezték, különösen a nagy tisztaságú szilíciumkristályok növesztésénél. A kristálynövesztő kemencék kritikus elemeként ez a komponens központi szerepet játszik a termikus gradiens kialakításában és stabilizálásában, biztosítva az optimális kristályképződést és az egyenletes anyagminőséget.

A nagy sűrűségű szénszál-erősítésű szénkompozitból készült Inner Guide Tube rendkívüli szerkezeti integritást és hőstabilitást kínál extrém körülmények között. Sűrűsége ≥1,35 g/cm³ és hajlítószilárdsága ≥110 MPa, megőrzi mechanikai robusztusságát még hosszabb ideig tartó, magas hőmérsékletnek való kitettség esetén is. Ezek a tulajdonságok nélkülözhetetlenek a félvezető minőségű szilíciumgyártásban, ahol a hőviszonyok kisebb ingadozásai is jelentősen befolyásolhatják a kristályok egyenletességét és a hibaarányt.

Alapfunkciók: Precíziós gradiensvezérlés

A C/C belső vezetőcső elsődleges szerepe egy pontos gradiens hőmérsékletmező létrehozása. A szilíciumkristály növekedési folyamata során közvetlenül az olvadék fölé helyezik, hogy:

Közvetlen gázáramlás: irányítja az inert argongáz áramlását, biztosítva, hogy a szilícium-oxid (SiO) gőzök hatékonyan elsodorják az olvadék felületéről, megakadályozva az oxigénszennyeződést a kristályban.

Hőárnyékolás: Megvédi a növekvő kristályt a tégely falairól érkező közvetlen hősugárzástól, megteremtve a nagy sebességű, jó minőségű kristályhúzáshoz szükséges meredek tengelyirányú hőmérsékleti gradienst.

Energiahatékonyság: Az olvadékzónán belüli hő koncentrálásával és a kemence felső részeinek szigetelésével jelentősen csökkenti a teljes energiafogyasztást.

Műszaki adatok és kiváló anyagok

Belső vezetőcsöveink nagy sűrűségű felhasználással készülnekSzén/szén kompozitok, amely kiváló alternatívát kínál a hagyományos grafittal szemben. Az anyagtulajdonságok a félvezető vákuumkemencék extrém körülményeihez optimalizáltak:

Sűrűség: ≥ 1,35 g/cm³

Hajlítási szilárdság: ≥ 110 MPa

Hőtágulási együttható (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Hővezetőképesség (szobahőmérséklet): ≤ 10 W/(m·K)

Ipar

Ahogy az ipar a nagyobb szeletméretek (300 mm és 450 mm) felé halad, a hőtérrel szembeni igények exponenciálisan nőnek. Belső vezetőcsöveink kompatibilisek a főbb CZ kemencék márkáival, és testreszabhatók a geometria és a bevonat tekintetében.