LPE rész

A Semicorex LPE alkatrészek nagy teljesítményű SiC bevonatú alkatrészek, amelyeket kifejezetten a SiC epitaxiás folyamatban való használatra terveztek. Ezeket az alkatrészeket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a szilícium-karbamid kristálynövekedésének nehéz körülményeinek, így kiváló hőstabilitást, vegyszerállóságot és mechanikai szilárdságot biztosítanak. Ha a Semicorex LPE-alkatrészeit választja, garantáltan kivételes tartósság, precizitás és személyre szabott megoldás a SiC epitaxiás folyamat igényeire.

A Semicorex LPE alkatrészek fejlett anyagokból és precíz gyártási technikákkal készülnek, biztosítva az egységességet és a megbízhatóságot minden egységben. A bevonat fizikai és kémiai tulajdonságai szigorú követelményeket támasztanak a magas hőmérséklet-állóság és a korrózióállóság tekintetében, amelyek közvetlenül befolyásolják a termék hozamát és élettartamát. A SiC anyag nagy szilárdsággal, nagy keménységgel, alacsony hőtágulási együtthatóval és jó hővezető képességgel rendelkezik. Fontos magas hőmérsékletű szerkezeti anyag és magas hőmérsékletű félvezető anyag. Grafit alapokra alkalmazzák. Előnyei a következők:

1) A SiC korrózióálló és teljesen beborítja a grafit alapot, és jó sűrűséggel rendelkezik, hogy elkerülje a korrozív gázok okozta károsodást. 2) A SiC magas hővezető képességgel és nagy kötési szilárdsággal rendelkezik a grafit alappal, ami biztosítja, hogy a bevonat ne essen le könnyen többszöri magas és alacsony hőmérsékleti ciklusok után. 3) A SiC jó kémiai stabilitással rendelkezik, hogy elkerülje a bevonat meghibásodását magas hőmérsékleten és korrozív atmoszférában. Ezenkívül a különböző anyagokból készült epitaxiális kemencékhez különböző teljesítménymutatókkal rendelkező grafittálcákra van szükség. A grafit anyagok hőtágulási együtthatójának egyeztetése megköveteli az epitaxiális kemence növekedési hőmérsékletéhez való alkalmazkodást. Például a szilícium-karbid epitaxia hőmérséklete magas, és magas hőtágulási együtthatójú tálcára van szükség. A SiC hőtágulási együtthatója nagyon közel áll a grafitéhoz, így alkalmas a grafit alap felületének bevonására.

Alkalmazások a SiC Epitaxy folyamatban

A SiC epitaxiás folyamat kritikus lépés a félvezető eszközökhöz, köztük a teljesítményelektronikához és az optoelektronikához használt kiváló minőségű SiC lapkák előállításában. Az LPE alkatrészek, különösen a SiC bevonatúak, alapvető szerepet játszanak a hőmérséklet és a reaktoron belüli kémiai reakciók pontos szabályozásában. Ezek a komponensek stratégiailag a reaktorban vannak elhelyezve, hogy elősegítsék az ostya optimális növekedését, miközben megőrzik a SiC kristályok tisztaságát és egyenletességét.

A Semicorexnél tisztában vagyunk azzal, hogy minden SiC epitaxia eljárásnak egyedi követelményei vannak. Ezért az LPE alkatrészeink teljes mértékben testreszabhatók, hogy megfeleljenek az Ön működésének speciális igényeinek. Legyen szó méretről, alakról vagy bevonatvastagságról, mérnökcsapatunk szorosan együttműködik az ügyfelekkel, hogy olyan alkatrészeket szállítsanak, amelyek optimalizálják gyártási folyamataikat.

Az alkatrészeinkre felvitt kiváló minőségű SiC bevonat kiváló tartósságot is biztosít. A hagyományos anyagoktól eltérően a SiC hosszabb élettartamot kínál zord üzemi körülmények között, csökkentve a karbantartások gyakoriságát és az állásidőt. Ez a hosszú élettartam alacsonyabb működési költségeket és nagyobb hatékonyságot jelent a félvezetőgyártók számára.

A Semicorex LPE alkatrészeket precízen tervezték és úgy tervezték, hogy megfeleljenek a SiC epitaxiás eljárás szigorú követelményeinek. Alkatrészeink a legújabb technológiával készülnek, biztosítva, hogy páratlan teljesítményt és hosszú élettartamot biztosítsanak. A Semicorex választásával olyan partnert választ, aki érti a félvezetőgyártás összetettségét, és elkötelezett amellett, hogy megbízható, kiváló minőségű termékeket szállítson, amelyek növelik az Ön gyártási képességeit.

Semicorex LPE alkatrészek, a hozzájuk tartozóSiC bevonat, ideális választás a SiC epitaxiás reaktorok teljesítményének és élettartamának növelésére. Ezek az alkatrészek kiváló hőstabilitást, vegyszerállóságot és mechanikai szilárdságot biztosítanak, biztosítva, hogy a SiC kristálynövekedési folyamata zökkenőmentesen és hatékonyan fusson. A rendelkezésre álló testreszabási lehetőségekkel a Semicorex személyre szabott megoldást kínál, amely megfelel az Ön speciális folyamatkövetelményeinek, így a félvezetőgyártók megbízható partnerévé válunk világszerte.