Mikroporózus kerámia tokmány

A Semicorex mikroporózus kerámia tokmány kulcsfontosságú eleme a félvezető lapkák kezelésének. Mivel a mikropórusos kerámia tokmány magja, a mikropórusos kerámia lyukai általában rendkívül kicsik, a porozitásnak körülbelül 30-50% -nak kell lennie. A furat átmérőjének mikroszintűnek, akár nanoszintűnek kell lennie. Garantálja a munkadarab szilárdan rögzítését a vákuumtokmányhoz, megakadályozza a negatív nyomás miatti felületi karcolásokat, horpadásokat stb. Eközben, ha alumínium-oxid vákuumtokmányt használnak az elektronikai alkatrészek fotolitográfiás folyamata során, általában porózusAlumínium-oxid kerámiaa tokmány fekete legyen, hogy elkerülje a tokmányról visszaverődő szórt fény által okozott interferenciát.

Mivel a szerkezettimföldA vákuumtokmány viszonylag egyszerű, a gyártási és karbantartási költségek alacsonyak, és az adszorpciós erő is viszonylag könnyen állítható, az ostya abszolút stabil és rögzíthető a feldolgozás során a vákuumszivattyú üzemállapotának vagy a tokmányok közötti távolság beállításával. Ha azonban az ostyát vákuumban vagy alacsony nyomású környezetben dolgozzák fel, például kémiai gőzleválasztással, a vákuumtokmány a nyomáskülönbségre támaszkodva nem működik, ami korlátozza az alkalmazását. Továbbá, amikor az ostya felszívódik a mikropórusos kerámia tokmány felületén, a légnyomás miatt deformálódik, majd a feldolgozás után az ostya visszapattanhat, ami hullámos felületet eredményez a vágási felületen, csökkenti a felület síkságát és befolyásolja a feldolgozási pontosságot. Tehát a mikroporózus kerámia tokmányt általában lapos és jól tömített alkatrészek rögzítésére vagy hordozására használják, például fémlemezre. A félvezető feldolgozásban pedig általában az alsó kategóriás folyamatokban alkalmazták.

A Semicorex mikroporózus kerámia tokmányok nagy pontosságú vákuumtartó alkatrészek, amelyeket olyan alkalmazásokhoz terveztek, amelyek egyenletes szorítóerőt, kiváló síkságot és szennyeződésmentes működést igényelnek. Az OEM berendezésgyártók és a fejlett gyártási környezetek számára kifejlesztett Semicorex kerámia tokmányok stabil és megismételhető munkadarabrögzítést biztosítanak ott, ahol a mechanikus befogás vagy a hagyományos vákuum tokmány kialakítása nem elegendő.

Főbb teljesítményjellemzők

Egyenletes vákuum eloszlás a teljes felületen

A hagyományos vákuumtokmányokkal ellentétben, amelyek különálló vákuumfuratokra támaszkodnak, a Semicorex mikroporózus kerámia tokmányok teljesen összekapcsolt mikropórusos szerkezetet használnak a vákuum egyenletes elosztása érdekében a tokmány felületén.

Ez a kialakítás biztosítja:

Egyenletes tartóerő a teljes érintkezési területen

Csökkentett helyi feszültség és a munkadarab deformációja

Fokozott stabilitás vékony, törékeny vagy rugalmas aljzatokhoz

Ennek eredményeként ezek a tokmányok különösen alkalmasak szilícium lapkákhoz, üveglapokhoz, zafír hordozókhoz, kerámiákhoz és kompozit anyagokhoz.

Magas laposság és méretstabilitás

A Semicorex mikroporózus kerámia tokmányok precíziós szinterezési és felületkezelési eljárásokkal készülnek a nagy síkság és a hosszú távú méretstabilitás elérése érdekében.

A tipikus síkság mikronszintű tűréshatárokon belül szabályozható, mérettől és alkalmazástól függően

Az alacsony hőtágulás minimálisra csökkenti a hőmérséklet-ingadozások hatására bekövetkező deformációt

Ez biztosítja a konzisztens pozicionálási pontosságot a csiszolási, polírozási, ellenőrzési és litográfiával kapcsolatos folyamatokban.

Tiszta, részecskementes működés

A fejlett kerámia anyagok természetüknél fogva nem fémesek, nem mágnesesek és korrózióállóak, így a Semicorex mikroporózus kerámia tokmányok alkalmasak tiszta és érzékeny gyártási környezetekre.

A legfontosabb előnyök közé tartozik:

Nincs fémszennyeződés

Alacsony részecskeképződés

Kompatibilitás a tisztatéri alkalmazásokkal

Ezek a tulajdonságok ideálissá teszik őket a félvezetőgyártáshoz, az optikai alkatrészek gyártásához és a precíziós elektronikai feldolgozáshoz.

Anyag és szerkezeti előnyök

Ellenőrzött mikropórusos kerámia szerkezet

A Semicorex mikropórusos kerámia tokmányok pórusméretét és porozitását gondosan úgy alakították ki, hogy egyensúlyba hozza a vákuum áramlási sebességét, a tartóerőt és a mechanikai szilárdságot.

Az egyenletes póruseloszlás támogatja a stabil vákuumteljesítményt

A mikropórusos szerkezet csökkenti a hirtelen nyomásveszteséget működés közben

Jobb tartási megbízhatóság a fúrt lyukú vákuumtokmányokhoz képest

Ez a szerkezet egyenletes befogási teljesítményt biztosít folyamatos működés közben.

Tipikus alkalmazások

A Semicorex mikroporózus kerámia tokmányokat széles körben használják:

Félvezető lapka csiszolás és polírozás

Üveg, zafír és kerámia hordozó feldolgozás

Optikai alkatrészek gyártása

Precíziós megmunkáló és metrológiai rendszerek

Stabil és ismételhető teljesítményük miatt kiválóan alkalmasak automatizált, nagy pontosságú gyártósorokhoz.

GYIK – Semicorex mikroporózus kerámia tokmány

Mi a mikroporózus kerámia tokmány fő előnye?

Egyenletes vákuumtartó erőt biztosít a teljes felületen, minimálisra csökkenti a deformációt és javítja a folyamat stabilitását.

A Semicorex kerámia tokmányok alkalmasak vékony ostyákhoz?

Igen. Különösen hatékonyak vékony, törékeny vagy hajlékony munkadaraboknál, amelyek egyenletes nyomáselosztást igényelnek.

A Semicorex mikroporózus kerámia tokmányok testreszabhatók az OEM berendezésekhez?

Igen. A méretek, a porozitás és a felület jellemzői az OEM-specifikus alkalmazásokhoz szabhatók.

Hogyan karbantartják a mikroporózus kerámia tokmányokat?

Általában elegendő a rutinszerű tisztítás. A kerámia szerkezet ellenáll a kopásnak, a korróziónak és a kémiai lebomlásnak.