Félvezető kerámia alkatrészek

A félvezető kerámia alkatrészek a fejlett kerámiákhoz tartoznak, és a félvezető gyártási folyamat nélkülözhetetlen részét képezik. Az előkészítés nyersanyagai általában nagy tisztaságú, ultra-finom szervetlen anyagok, például alumínium-oxid, szilícium-karbid, alumínium-nitrid, szilícium-nitrid, jttrium-oxid, cirkónium-oxid stb.

Alumínium -oxid

Széles körben használják, és a termék teljesítménye a tisztaságtól függ. A 95% tisztaság halványsárga, a 99% tisztaság a hófehér. Kiváló merevség, szilárdság, kopásállóság, magas hőmérsékleti ellenállás és korrózióállóság, és felhasználható a legtöbb félvezető kerámia alkatrészek, például kerámia fúvókák, kerámia karok stb.

Szilícium -karbid

Fekete, nagy hővezetőképességgel, nagy szilárdsággal és keménységgel, könnyű súlyokkal, jó ütésállósággal rendelkezik, és gyakran használják a vákuumkarok és a vákuumszívó csészék előállításához.

Alumínium -nitrid

Nagy hővezetőképességgel, a szilíciummal, az alacsony dielektromos állandóval és a dielektromos veszteséggel illeszkedő termikus tágulási együtthatóval rendelkezik, és felhasználható a hőeloszlású szubsztrátok, kerámia fúvókák stb. Készítésére.

Szilícium -nitrid

Magas olvadáspont, rendkívül magas keménység, nagy kémiai inertitás, alacsony termikus tágulási együttható, nagy hővezetőképesség, jó hőhatás ellenállás, nagy ütközéses ellenállás és szilárdság 1200 ℃, gyakran kerámia szubsztrátok, kerámiacsövek stb.

Yttrium -oxid

Magas olvadáspont, jó kémiai és fotokémiai stabilitás, nagy hővezetőképesség, jó fényáteresztőképesség, gyakran alumínium -oxiddal kombinálva a kerámia ablakok előállításához.

Cirkónium -oxid

Magas mechanikai szilárdság, magas hőmérsékleti ellenállás, sav- és lúgos ellenállás, jó szigetelés, különböző tartalom szerint, kerámia termékekből, különböző célokra, például integrált áramköri szubsztrátok stb.

Alkatrészek típusai:

A "mindenoldalú" félvezető kerámia alkatrészeket különféle funkciókkal széles körben használják különféle félvezető kulcsfontosságú berendezésekben, elsősorban a következőket tartalmazzák:

Félvezető kerámia kar

Szerepet játszik a félvezető berendezésekben az ostyák szállításakor, és vákuum tiszta környezetben kell dolgoznia. Általában nagy tisztaságú alumínium-oxiddal vagy szilícium-karbiddal készülnek, az alumínium-oxid költséghatékony és több.

Kerámia szubsztrát

Különböző elektronikus csomagolási mezőkben, például elektronikus elektronikus eszközökben, lézerekben stb., És gyakran olyan anyagokkal készülnek, mint az alumínium -oxid és a szilícium -nitrid.

Kerámia fúvóka

A HDP-CVD-ben minősége befolyásolja a reakciógáz tisztaságát és áramlási sebességét. Az alumínium -nitrid -kerámia kiváló teljesítményük miatt jobban alkalmasak a fejlett feldolgozó berendezésekre.

Kerámiaablak

Ez a Semiconductor Etcher kulcsfontosságú eleme. Vákuumot lezárhat, anélkül, hogy befolyásolná a plazma behatolását. Általában nagy tisztaságú alumínium-oxidból és yttrium-oxidból készül.

Kerámia kamra burkolat

Ez a vékonyréteg -lerakódási berendezés kulcsfontosságú eleme, amely elengedhetetlen a ostya minőségének és a reakciókamra lezárásának biztosítása érdekében.

Kerámia vákuumcsukás

A szilícium ostya elhelyezésére és rögzítésére használják. Ez egy porózus kerámia, amely két kerámia anyagból készül.

Előkészítési folyamat:

A "kivitelezés" félvezető kerámia alkatrészek előkészítési folyamata bonyolult, elsősorban a következő lépéseket tartalmazza:

Por előkészítés

A nyersanyagokat újra kell készíteni, és a követelményeknek megfelelő nyers port kötés, mechanikus golyó marálás, permetezés és egyéb folyamatok révén nyerik.

Porréselés

Száraz préselés, izosztatikus sajtolás, szalagöntés, fröccsöntés, gél -fröccsöntés és egyéb módszerek általában használják a por kerámia zöld testré történő előállításához.

Magas hőmérsékleti szinterelés

A kerámia zöld testet sűrű főtt testré alakítják át normál nyomás -szinterelés, vákuum -szinterelés, légkör -szinterelés és egyéb módszerek révén.

Pontossági megmunkálás

A szinterelt kerámia főtt testet CNC -eszterékkel, darálókkal stb. Feldolgozzák a szükséges méret és pontosság elérése érdekében.

Minőségi ellenőrzés

A termékminőség biztosítása érdekében megvizsgáljuk a kerámia alkatrészek megjelenését, méretét, porozitását, érdességét és egyéb tulajdonságait.

Felszíni kezelés

A minőségi ellenőrzésen átadott termékek felületét megtisztítják, és további felszíni kezelésre van szükség a speciális igényekhez, például ívpermetezéshez, plazma permetezéshez stb.

A Semicorex kiváló minőségűkerámia alkatrészekfélvezetőben. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com